Die Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe, die durch eine hohe Drehgeschwindigkeit des Rotors, der die Gasmolekularbewegung trägt, um ein sehr hohes Vakuum zu erhalten, besteht aus einer Kombination von Antriebsrädern und statischen Schaufelrädern, die Energieeinsparung als die Diffusionspumpe, ölfreie Dampfverschmutzung, gleichzeitig mit einer großen Pumpgeschwindigkeit beim Molekülstrom, einem hohen Kompressionsverhältnis, ist derzeit eine große Inlandspumpe mit einer großen Pumpgeschwindigkeit.
Bedienungshinweise für Turbomolekularpumpen
♦ Die Turbomolekularpumpe kann nicht eingestellt werden, während die Vorderpumpe arbeitet (Vorderleitungsanschluss) und die Vakuumkammer im Vakuumzustand ist, sonst wird der Öldampf schnell von der Vorderleitung zum reinigen Ende der Pumpe zurückfließen.
♦ Vor dem Ausfall des Trocknungsgases muss die Molekularpumpe das Kühlwasser abschalten und vom Hochvakuumsende der Pumpe aufgeblasen werden. Es darf niemals von der Vorderleitung der Pumpe aufgeblasen werden.
♦ Bei der Auswahl der Größe der Vorderpumpe des Systems sollte die Vorderpumpe der Turbomolekularpumpe im Zustand des Molekülstroms gehalten werden.
♦ Die Turbomolekularpumpe darf nicht unter der Nenndrehzahl laufen.
♦ Der Eingang der Molekularpumpe sollte mit einem Schutznetz versehen werden, um zu verhindern, dass Fremdkörper den Pumpenrotor und die Statorblätter beschädigen.
Anwendungsbereiche von Turbomolekularpumpen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf:
♦ Analyse (Massenspektrometer, Elektronenmikroskope usw.).
♦ Halbleiterindustrie (Elektronikkomponenten, integrierte Schaltungen, Solarzellen usw.).
♦ Optik / Glasindustrie (Wärmeschutz, Reflexionsschutz, Reflexionsschutz, optische Filterbeschichtungen usw.)
♦ Beschichtungstechnik (Oberflächenschutz, Dekorationsbeschichtungen, Displays, Bildschirme usw.).
♦ Vakuumschmelze (Vakuumschweißen, Vakuumsintern, Vakuumlegierungen, Vakuumofen usw.).
♦ Technologien zur Erkennung von Leckagen (Vakuumgeräte, Kraftstofftanks, Airbags, Verpackungen usw.).
♦ Wissenschaftliche Ausrüstung (Kernphysik, Fusionsreaktionsforschung, Laseranwendungen usw.).
♦ Beleuchtungsindustrie (Lampenproduktion).