Diffusionspumpen spielen eine entscheidende Rolle in Vakuumbeschichtungsmaschinen, deren Wartung und Anwendungsmethoden entscheidend sind, um den ordnungsgemäßen Betrieb der Anlage zu gewährleisten und die Lebensdauer zu verlängern. Im Folgenden finden Sie spezifische Empfehlungen zur Wartung und Anwendung von Diffusionspumpen:

Wartungsmethoden für Diffusionspumpen

• Kühlwassermanagement: Im Betrieb muss sichergestellt werden, dass die Kühlwasserversorgung reibungslos ist. Wenn die Heizung gestoppt ist, müssen Sie warten, bis die Arbeitsflüssigkeit der Pumpe abgekühlt ist, bevor Sie das Kühlwasser abschalten können.

• Vakuumzustand-Management: Wenn die Diffusionspumpe nicht mehr arbeitet, sollte ihr interner Vakuumzustand gehalten werden, um eine Verschlechterung des Pumpenöls zu verhindern. Auch bei langfristiger Lagerung sollte ein Vakuum gehalten werden und die restliche Feuchtigkeit in der Kühlkappe entfernt werden.

• Gasmanagement: Das gepumpte Gas muss trocken, korrosionsfrei und staubfrei bleiben, um den normalen Betrieb der Diffusionspumpe sicherzustellen.

• Regelmäßige Inspektionen: Überprüfen Sie regelmäßig die Leistung der Pumpe, einschließlich der Reduzierung oder Oxidation von Pumpenöl, der Reinigung von Teilen und Pumpenräumen. Bei Bedarf Tanken, Ölwechsel oder Reinigung.

• Erkennung von Leckagen vor dem Neustart: Die Erkennung von Leckagen muss vor dem Neustart durchgeführt werden, um sicherzustellen, dass keine Leckagefährde an der Verbindung besteht.

Anwendungsmethoden für Diffusionspumpen

• Installation und Montage: Bei der Neumontage sollten der Pumpenkern und der Pumpenboden vertikal und konzentrisch mit der Pumpenhohle gehalten werden, und die Düsenlücke auf allen Ebenen sollten nach den ursprünglichen Anforderungen angepasst werden.

• Reinigen und trocknen: Beim Reinigen von Teilen und Pumpenhohlen werden sie zuerst mit Flugbenzin gereinigt, dann mit Aceton gereubt und bei 80-100 Grad getrocknet oder mit einem elektrischen Haartrockner getrocknet.

• Startbedingungen: Es kann nur erwärmt werden, wenn das Vorvakuum der Diffusionspumpe erreicht ist, sonst wird die Oxidation des Pumpenöls beschleunigt.

• Verwaltung der mechanischen Vorpumpe: Beachten Sie die Arbeitsbedingungen der mechanischen Vorpumpe, da die Leistung der mechanischen Vorpumpe den normalen Betrieb der Öldiffusionspumpe direkt beeinflusst.

Durch die Anwendung der oben genannten Wartungsmethoden kann die Lebensdauer der Diffusionspumpe effektiv verlängert werden und ihr effizienter und stabiler Betrieb gewährleistet werden.