Die Turbomolekularpumpe besteht hauptsächlich aus Antriebsrädern, Ruhrädern, Pumpenkörpern, vorderen und hinteren Anschlüssen und anderen Teilen. Die Antriebsräder erzeugen durch ihre hohe Drehgeschwindigkeit Zentrifugalkraft, während die statischen Räder den Fluss der Gasmoleküle leiten. Der Pumpenkörper bietet eine geschlossene Umgebung für das gesamte System, um sicherzustellen, dass Gasmoleküle effizient abgepumpt und abgegeben werden können. Turbomolekularpumpen werden weit verbreitet in Fertigungsprozessen wie Hochenergiebeschleunigern, kontrollierten Thermokernen-Reaktionen, Schwerpartikelbeschleunigern und Vakuumbeschichtungen, die einen hohen Vakuumgehalt erfordern. Gleichzeitig gibt es eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Elektronik, Halbleiter, Solarenergie, Chemie, Ionengravur, Plattenfertigung, Beleuchtung, Luft- und Raumfahrt, Kernenergie und anderen.
Was sind die Hauptmerkmale einer Turbomolekularpumpe? Im Folgenden werden wir euch kurz vorstellen:
Hohe Effizienz: Die Turbomolekularpumpe erreicht schnell den gewünschten Vakuumgrad und verfügt über eine stabile Leistung während des Betriebs.
2. Sauberkeit: Aufgrund ihres Arbeitsprinzips und des Strukturdesigns kann die Turbomolekularpumpe ölfrei arbeiten und die Verschmutzung mit Öldampf vermeiden und gleichzeitig eine Vielzahl von korrosiven Gasen verarbeiten.
Stabilität: Die Turbomolekularpumpe verfügt über eine gute kinetische Gleichgewichtsleistung bei hoher Drehgeschwindigkeit und kann einen langfristigen stabilen Betrieb gewährleisten.