W200 Wafer-Testzubehör

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Das W200 ist ein automatisches Reflexions- und Transmissionsprüfzubehör, das für die Prüfung des C- und O-Gehalts von Halbleiterwafern, die Prüfung der Schichtdicke und andere Anwendungsszenarien mit unterschiedlichen Probenanforderungen zur automatischen Analyse verwendet werden kann.

Produktdetails

Eigenschaften:

Transmittenz-, Reflexion- oder Transmittenz-Reflexion-Doppelmodus können separat ausgewählt werden, um Einkaufskosten zu sparen
Importierte Schrittmotoren, importierte optische Komponenten
Unterstützt Wafer bis zu 8 Zoll (200 mm) und kann abweichende Probenhalter anpassen
Die Software setzt mehrere Testpunkte ein, testet das Spektrum automatisch und zeigt die Analyseergebnisse an
Anpassbare Software, die Testmethoden, Algorithmen und Ergebnisse für unterschiedliche Anwendungsszenarien anpasst

Anwendungsbereich:

Kohlenstoff- und Sauerstoffgehaltsanalyse von Halbleiterwafern
Detektion der Dicke der Streckenschicht von Halbleiterwafern
Automatische Prüfung der Durchlässigkeit und Reflexion von Filtern, Beschichtungsproben
Automatische Transmission- und Reflexionsserienprüfung vieler Proben

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