Park Systems Atomkraftmikroskop NX20

Überlegene Nanometerwerkzeuge zur Fehleranalyse und zur großen Probenforschung

Als Fehleranalyseingenieur ist es Ihre Aufgabe, Ergebnisse zu liefern. Und die Daten, die Ihr Gerät liefert, können keine Fehler zulassen. Park

NX20， Dieses weltweit* präzise Großprobenmikroskop ist in der Halbleiter- und Festplattenindustrie für seine hervorragende Datengenauigkeit sehr gelobt.

Leistungsstarkere Fehleranalyselösungen

Park

Der NX20 verfügt über eine einzigartige Funktionalität, die die Ursache von Gerätefehlern leicht identifiziert und dazu beiträgt, kreativere Lösungen zu entwickeln. *** Die Präzision liefert Ihnen hochauflösende Daten, damit Sie sich besser auf Ihre Arbeit konzentrieren können. Gleichzeitig, True

Non-Contact ™ Der (wirklich berührungsfreie) Scanmodus macht die Sonde** scharfer und langlebiger, ohne dass der häufige Austausch viel Zeit und** aufwendig ist.

Einfache Bedienung, das Evangelium des Einstiegs-Ingenieurs

Das Park NX20 verfügt über ein branchenfreundliches Design und eine automatisierte Schnittstelle, so dass Sie nicht viel Zeit und Aufwand für die Verwendung aufwenden müssen und keine jungen Ingenieure zu diesem Zeitpunkt überwachen müssen. Mit dieser Reihe von Funktionen können Sie sich stärker auf die Lösung größerer Probleme konzentrieren und Ihren Kunden eine zeitnahe und einblickreiche Fehleranalyse anbieten.

Technische Informationen:Seitenwandmessungen für dreidimensionale StrukturforschungDie Konstruktion des NX20** ermöglicht es Ihnen, Seitenwände und Oberflächen der Probe zu erkennen und Winkel zu messen. Viele Funktionen und Anwendungen sind genau das, was Sie für Ihre Sexualforschung und tiefe Einsichten benötigen.

Messung der Oberflächenrauheit

-

Medien und Substrate

Die Messung der Oberflächenrauhe ist eine der Schlüsselanwendungen des Park NX20 und ermöglicht eine** Fehleranalyse und Qualitätssicherung.

Elektrischer Scanmodus mit hoher Auflösung* Schnelle Scan-Kapazitätsmikroskope

Elektroleitende Atomkraftmikroskope ohne horizontale Reibung

True Sample Topography™(

Echte Probe-Scan), so dass die Pigmentierung keine SpurenUnser Atomkraftmikroskop ist mit einem effektiven geräuscharmen Z-Achsen-Detektor mit einer breiten Geräuschbandbreite von nur 0,02 ausgestattet.nm. Dies führt zu einer super** Probenform, die nicht durch den Überlauf beeinflusst wird und keine Kalibrierung erforderlich ist. Dies ist nur eine der Möglichkeiten, wie das Park Atomkraftmikroskop Ihnen Zeit spart und bessere Daten liefert.

Technische Merkmale:

2D flexibler Führungsscanner, übergroß

100

μm x 100 μm

Scanbereich

Der XY-Achsenscanner enthält einen symmetrischen 2D-Flexibilitäts- und Hochfestigkeitspiezostapel, der eine hohe orthogonale Bewegung und eine hohe Reaktionsfähigkeit beim Scannen von Proben im Nanoskala ermöglicht, während die Bewegung außerhalb der Ebene* gering ist.Geräuscharme PositionssensorenDie branchenübergreifenden geräuscharmen Z-Achsdetektoren ersetzen die Z-Spannung als Erscheinungssignal. Darüber hinaus reduziert das geräuscharme XY-Closed-Loop-Scannen den Spalt zwischen dem vorwärts- und rückwärts-Scannen auf weniger als 0,15% des Scanbereichs.

Schrittweise Scan Automatisierung

Mit dem elektrischen Probentesch ermöglicht der Schrittscannmodus dem Anwender die Programmierung mehrregionaler Bildgebungen selbst. Bei wiederholten Bildgebungsprozessen reduziert diese Automatisierungsfunktion die Arbeit des Benutzers und steigert damit die Produktivität.

Schiebeverbindung von Ultra-Radiation-LEDs

(SLD)24Automatisches Entladen von Objektiven

Das Schwanzbahn-Design ermöglicht den einfachen Austausch von Atomkraftmikroskopiobjektiven. Diese Konstruktion verriegelt das Objektiv automatisch an die vorgegebene Position und verbindet es mit der Steuerelektronik mit einer wiederholten Positionierungsgenauigkeit von nur wenigen Mikrometern. Dank der niedrigen Kohärenz der Ultra-Radiation Light-Emitting-Diode (SLD) kann das Mikroskop hochreflektierende Oberflächen bilden und das Pico-Newton-Kraftkontrastspektrum präzise messen. Darüber hinaus löst die Wellenlänge der Ultra-Radiation-LEDs das Problem der Störung und ermöglicht es den Benutzern, das Atomkraftmikroskop bei Experimenten mit sichtbarem Spektrum zu verwenden.^{Superior-Scan-Sonde-Mikroskop-Modus und Optionen Erweiterungsschlitz}Einfügen Sie einfach ein optionales Modul in den Erweiterungsschlitz, um den Superior Scan Probe Microscope-Modus zu aktivieren. Dank des modularen Designs der Atomkraftmikroskope der Serie NX ist die Kompatibilität der Produkte der Produktlinie erheblich verbessert.

HochgeschwindigkeitDigitale elektronische SteuerungAlle Atomkraftmikroskope der NX-Serie werden von derselben NX-Elektronensteuerung gesteuert und verarbeitet. Der Controller ist eine volldigitale, 24-Bit-Hochgeschwindigkeits-Elektronik, die sicherstellt, dass ParkTrue Non-Contact24TM

Bildgenauigkeit und Geschwindigkeit im Modus. Mit seinem geräuscharmen Design und einer Hochgeschwindigkeitsverarbeitungseinheit ist der Controller die perfekte Wahl für die Bildgebung in Nanoskala und die Spannungsstrommessung**. Die eingebettete digitale Signalverarbeitung erweitert die Funktionalität des Atomkraftmikroskops und verbessert das Preis-Leistungs-Verhältnis weiter und ist die beste Wahl für führende Forscher.

XY

und

Z

Achsdetektor

Bit-Signal-Lösungen

XY-Achse (50)

Die Auflösung beträgt 0,003

nmDie Auflösung der Z-Achse (15 μm) beträgt 0,001nmEingebettete digitale Signalverarbeitung

Dreikanale flexible digitale Verriegelungsphase und Federkonstantenkorriktur (Thermomessung)

Digitale Q-KontrolleIntegrierter SignalportSpezielle programmierbare Signal-Ein-/Ausgangsanschlüsse

7 Eingangs- und 3 Ausgangsanschlüsse

Hochgeschwindigkeit

Z

Achsenscanner, Scanbereich bis15 μmDurch den hochfesten Stapel und die flexible Struktur erreichen Standard-Z-Achse-Scanner Resonanzfrequenzen von bis zu 9 kHz (in der Regel 10,5 Hz).

kHz) und die Z-Achsenbewegungsgeschwindigkeit der Sonde nicht weniger als 48

mm/Sekunde, um das Feedback genauer zu machen. * Der große Z-Achse-Scanbereich kann von Standard-15 μm auf 40 μm erweitert werden (optionale Fern-Z-Achse-Scanner).elektrischXY

Achsen-Probentesch mit optionalem Encoder