Park Systems Atomkraftmikroskop NX10

Genaue Bildgebung,Keine Kreuzkopplung

Branchenüberlegene XYZ-Axialität, wobei Proben und Sonden jeweils durch einen unabhängigen, flexibel geführten Scanner bewegt werden

* Niedrige Flächenverschiebung mit einer Flächenverschiebung von nicht mehr als 1 nm beim gesamten horizontalen Scan

Linearität von mehr als 0,015 % bei der gesamten Ausdehnung des vertikalen Scanners

Optimierte horizontale Scanner-Klingelphänomene, wissenschaftliche positive Sinus-Scan-Algorithmen

Genauer Scan, wahrer kontaktloser Modus

Branchenüberlegener vertikaler Scanner mit einer Bandbreite von über 9 kHz und einer vertikalen Servoreaktionsgeschwindigkeit von über 62 mm/sec

Schnelle Scangeschwindigkeit im kontaktlosen Modus*

Extrem geringer Sondenverschleiß für langfristige Scanqualität

Sehr geringe Probenschäden

Genaue Messung, echte Probenform

Messung der Probenform mit dem branchenweit führenden geräuscharmen Verzögerungsdetektor

Minimale, branchenübergreifende positive Gegenmessabweichung von weniger als 0,15%

Optimierte Wärmeabkühlungskomponenten reduzieren den Systemwärmewandel und Verzögerungen erheblich

Leistungsstarke, fortschrittliche Schalldämmung für aktive Temperaturregelung im Inneren der Kabine

Offenes Design für einfachen Austausch von Sonden und Proben

Vorpositioniertes Sondenklammerdesign, einfacher und bequemer Mess- und Lasereinstellungsprozess, intuitives von oben nach unten beobachtbares System aus Ziegeln

** Die Funktion "10 Sekunden Einsatz", die Sonde kann den Einsatz mit hoher Geschwindigkeit automatisieren

Digitales 24-Bit-Schaltkasten mit drei eingebauten Verriegelungsverstärkern mit Q-Control und Elastikkonstantenkalibrierung

Technische Parameter

XYScanner

Flexible XY-Scanner mit geschlossenem Kreislauf

Scanbereich: 50

μm × 50 μm (optional 100)

μm × 100 μm)

Auflösung:

0.05 nmGeräusche zur Positionserkennung: < 0,3 nm (Bandbreite: 1 kHz)

Horizontale Linearität: < 2 nm (über 40)

μm scan)

Z

Scanner

Flexibel gestarteter Hochleistungsscanner

Scanbereich: 15

μm (optional 30 μm)

Auflösung:

0.015 nm

Geräusche zur Positionserkennung: 0,03 nm (Bandbreite: 1 kHz)

Resonanzfrequenz:

> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

Oberflächenbildgeräusch: < 0,03 nm (typisch 0,02 nm)

Optische Systeme

Direktsichtige koaxiale Optik für die Beobachtung von Proben und Sonden
视场: 480
× 360 μm (10 x Objektiv)

CCD: 1M Pixel (Pixelauflösung: 0,4 μm)
Objektive
10x (0,21 NA) Objektiv mit sehr langem Arbeitsbereich (1 μm Auflösung)

20x (0,42 NA) Objektiv mit hoher Auflösung für einen langen Arbeitsbereich (0,6 μm Auflösung)

Signalverarbeitung

ADC: 18 Kanäle

4 Hochgeschwindigkeits-ADC-Kanäle (50 MSPS)

24-Bit-ADCs für X-, Y- und Z-Scanner-Positionssensoren

DAC: 12 Kanäle

2 Hochgeschwindigkeits-DAC-Kanäle (50 MSPS)

20-Bit-DACs für X-, Y- und Z-Scannerpositionierung