Online 0,1μm Staubpartikelzähler

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Übersicht

Der Laserstaubpartikelzähler ET-R101FS ist eines der Produkte des Online-Überwachungssystems von Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd. Die Mindestpartikelgröße kann bis zu 0,1 μm erkennen, kann die saubere Umgebung von ISO7-ISO1 erkennen, der Probenfluss ist 2,83 L / min, speziell für die Prüfung der sauberen Umgebung in der Halbleiterindustrie entwickelt, um die herkömmlichen Genauigkeitsgrenzen zu überbrechen, um die Flüchtigkeit von Photogravur und die Submikrometer-Verschmutzungspartikel, die durch den Verschleiß der Geräte erzeugt werden, genau zu erfassen, um die strengen Anforderungen des Nanoprozesses an die Sauberkeit der ISO-1-Klasse zu erfüllen. Online 0,1 μm Staubpartikelzähler mit hoher Genauigkeit, freundlicher Mensch-Maschine-Schnittstelle und einfacher Bedienung.

Produktdetails

Laserstaubpartikelzähler ET-R101FS (Online)

Marke: Etiedt

在线0.1μm尘埃粒子计数器

1. Übersicht:

Der Laserstaubpartikelzähler ET-R101FS ist eines der Produkte des Online-Überwachungssystems von Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd. Erkennung der minimalen Partikelgröße0,1 μmDie saubere Umgebung von ISO7-ISO1 kann detektiert werden, der Probenfluss 2,83 L / min ist speziell für die hochpräzise saubere Umweltprüfung in der Halbleiterindustrie konzipiert worden, um die herkömmlichen Genauigkeitsgrenzen zu überbrechen, die Flüchtigkeit von Photogravur und die durch den Verschleiß der Ausrüstung erzeugten submikronischen Schadstoffpartikel genau zu erfassen, um die strengen Anforderungen des Nanoprozesses an die Sauberkeit der ISO-1-Klasse zu erfüllen. Das Instrument hat eine hohe Präzision, eine freundliche Mensch-Maschine-Schnittstelle, eine reichhaltige Funktion und eine einfache Bedienung.

Dieses Produkt kann weit verbreitet inHalbleiter、Elektronik,Optik,Neue Energien, Präzisionsmaschinen,Chemie, Medizin, Hygiene, Biologie, Luft- und Raumfahrt，andere Abteilungen.

2. Eigenschaften:

◆ Gehäuse aus Edelstahl 304 (Luftfahrt-Aluminium anpassbar)

◆ 5.0 Ultra-große HD-Farb-Touchscreen, einfache Bedienung

◆ Mindestdetektionspartikelgröße 0,1 μm, acht Kanäle

Rund 5 Millionen Datenspeicher + USB-Datenexport + Cloud-Verbindung

Unterstützung für SCADA/MES-Systeme

ESD-sicheres intelligentes Strommanagementsystem

Automatische Erstellung von Berichten über die Reinigkeitsklasse nach ISO 14644-1

◆ Aktive Durchflusssteuerung PID automatische Einstellung

◆ Explosionsschutz Anforderungen angepasst, Explosionsschutz richtet sich nur an Gehäuse Explosionsschutz, spezifisch nach den Kundenbedürfnissen individuell anpassen.

3. Leistung:

◆Probenfluss: 2,83L/min ±5% (0,1 CFM)
◆Partikelgrößenverteilungsfehler；Nationale Auszeichnung±20%FS
◆Konzentrationsfehler；Nationale Auszeichnung±20%FS
◆Selbstreine Zeit；Nationale Auszeichnung≤8Min
◆Wiederholte relative Fehler；Nationale Auszeichnung≤8%FS
◆Probenkonzentration,35.000 Stück/Liter
◆bisWeniger5.000.000 Probendatenspeicher

4. Anwendung:

Halbleiterreinigungsprüfung;

Wafer-Verpackung Produktlinie Überwachung;

Überwachung der Produktionslinie;

Präzisionsoptik;

neue Energien;

Luft- und Raumfahrt;

Technische Parameter:

Probenfluss	2.83L/min
Partikelgrößenverteilung	Acht Kanäle:0,1μm, 0,15μm, 0,2μm, 0,25μm, 0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 5,0μm
Laserlichtquelle	Langlebige Laserdioden, Lebensdauer>35.000 Stunden
Probenkonzentration	1000.000 Stück/Kubikfuß
ProbenahmeModus	Kontinuierliche Probenahme+ Echtzeit-Zählung, Intervall-Probenahme, Kumulative Zählung
Effizienz zählen	50 % @ 0,1 μm; 100% @> 0,15 μm 符合 ISO21501-4
Probenverzögerung	Benutzer selbst einstellen
Probenabstand	Benutzer selbst einstellen
Kommunikationsvereinbarung	Modbus
Kommunikationsmittel	RS485 und Internet
Datenspeicherkapazität	ungefährFünf MillionenGruppenmessdaten, abfragebar，Exportieren
Bildschirm anzeigen	5.0FarbehochauflösendTouchscreen
Druckmethode	Online-Zahlung nicht unterstützt
Strom Quelle	DC12V (9-28VDC) Ausgangsleistung nicht weniger als 12V3A
Referenzkriterien	ISO 21501-4, GBT29024.4-2017, JJF1190-2008
Datenkommunikationsschnittstelle	USB (Direkt exportieren oderIOT Online-Überwachungssystem ansehen），RS485 undRJ45
Ring Grenzen	Umgebung:10∽40Relative Luftfeuchtigkeit 20°C95%RH
	Speicherumgebung:-20 ℃45 ℃ relative Luftfeuchtigkeit95% RH
	Atmosphärischer Druck:86 bis 106 kPa
Standardzubehör	etc. Power Probenkopf, Probenkopfschlauch, Selbstreinigungsfilter, Bedienungsanleitung, Original-Kalibrierungsbericht, Zertifikat usw.
Größe	breit220mm × Höhe162mm × Tiefe130mm (nicht enthalten)Probenahme, Alarmlampe）
Material Qualität	304rostfreier Stahl
Schwer Menge	2.8Kg

6. Etiedt Netzwerk:

Suzhou Yitai Umwelt Technologie Co., Ltd. inländische saubere Umwelt Prüfgeräte intelligente innovative Anwendungen professionelle Spitzenunternehmen;

Die inländische Herstellung von Importinstrumenten ersetzt die neue Kraft der Marke;

inländische Reinigung Marke Service Provider, Reinigung Qualitätsdienstleister;

Komplettlösungen für intelligente Überwachungsinstrumente für saubere Mikroumgebung

Halbleiter saubere Umwelt Prüfung, Yitai Netco E-Serie Laser Staubpartikelzähler Prüfung Klasse kann die Klasse 10 bis 300.000 Umwelt Prüfung erfüllen;

Online 0,1μm StaubpartikelzählerOnline-Überwachungssystem;

Online 0,1μm StaubpartikelzählerRemote-Umgebungsüberwachungssystem

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