Mit der Entwicklung der Fertigungsindustrie werden die Anforderungen an Produktqualität und Sicherheit immer höher. In vielen Fertigungsprozessen ist Vakuum ein entscheidender Bestandteil, während Leckagen von Vakuumsystemen die Leistung und Qualität des Produkts direkt beeinflussen. Um die Zuverlässigkeit und Stabilität des Vakuumsystems zu gewährleisten, wurde die Online-Vakuumdämpfungs-Leckatechnologie entwickelt.
Die Online-Vakuumdämpfungs-Leckatechnologie ist eine Methode, um festzustellen, ob ein Leckage vorliegt, indem die Degradationsrate in einem Vakuumsystem erkannt wird. Das Prinzip basiert auf zwei Punkten:
Die Verringerungsgeschwindigkeit des Vakuumsystems ist in direktem Verhältnis zur Leckage: Wenn ein Leckage im Vakuumsystem vorliegt, wird das Gas im System kontinuierlich in das System gelangen, was zu einem sinkenden Vakuumgehalt des Systems führt und die Verringerungsgeschwindigkeit erhöht wird. Durch die Überwachung der Abbau-Rate des Vakuumsystems kann somit indirekt festgestellt werden, ob ein Leckage vorliegt.
Die Verfallsgeschwindigkeit eines Vakuumsystems wird von einer Vielzahl von Faktoren beeinflusst: Neben Leckagen wird die Verfallsgeschwindigkeit eines Vakuumsystems von Faktoren wie Gasabsorption, Entgasung und Leckage des Systems selbst beeinflusst. Daher muss die Online-Vakuumdämpfungs-Leckatechnologie die Auswirkungen dieser Faktoren berücksichtigen und ausschließen, um genau festzustellen, ob ein Leckage vorliegt.
Die Online-Vakuumdämpfungs-Leckatechnologie wird bei der Qualitätskontrolle und Prüfung verschiedener Vakuumsysteme weit verbreitet und eignet sich insbesondere für die folgenden Szenarien:
Vakuumsysteme von Raumfahrzeugen haben eine sehr geringe Toleranz für Leckagen und benötigen daher eine hochpräzise Leckadetektion, um die Zuverlässigkeit und Sicherheit des Systems zu gewährleisten. Der Herstellungsprozess von Halbleitergeräten muss in einer sehr hohen Vakuumumgebung durchgeführt werden, und die Leckageanforderungen an Vakuumsysteme sind streng, so dass die Online-Vakuumdämpfungsleckatechnologie ein unverzichtbares Werkzeug wird. Vakuumsysteme in medizinischen Geräten sind von entscheidender Bedeutung für die Sicherheit des Lebens der Patienten, daher sind zuverlässige Leckadetektionstechnologien erforderlich, um die Zuverlässigkeit und Sicherheit der Geräte zu gewährleisten.
Die Online-Vakuumdämpfungs-Leckatechnologie hat im Vergleich zu herkömmlichen Leckatechnologien folgende Vorteile:
Die Online-Technologie zur Erkennung von Leckagen durch Vakuumdämpfung kann die Verfallsrate des Vakuumsystems in Echtzeit überwachen, Leckagen im System rechtzeitig erkennen und die Auswirkungen von Leckagen auf den Produktionsprozess reduzieren. Kleine Leckagen können erkannt werden, was die Empfindlichkeit und Genauigkeit der Leckagererkennung verbessert. Eine zerstörerische Prüfung des Vakuumsystems ist nicht erforderlich und hat keine Auswirkungen auf den normalen Betrieb des Systems, was die Kosten und Risiken der Prüfung verringert. Die Automatisierung und Intelligenz der Leckadetektion können mit der automatisierten Produktionslinie kombiniert werden, um die Produktivität und die Produktqualität zu verbessern.