TS2000 Automatischer Sondenstand

Der MPI TS2000 ist eine natürliche Weiterentwicklung eines weltweit bewährten Sondensystems, das speziell auf die Anforderungen des fortgeschrittenen Halbleiterprüfmarktes ausgelegt ist. Das System ist vollständig kompatibel mit allen MPI-Systemzubehör und dient hauptsächlich für die Fehlerlösung, Konstruktionsprüfung, IC-Engineering, Wafer-Ebene-Zuverlässigkeit sowie spezielle Anforderungen an MEMS-, Hochleistungs-, RF- und mmW-Gerätetests.

Produktbeschreibung

Der TS2000 kann für Umgebungstemperatur und/oder nur Wärmetemperatur-Betriebsmodus mit Geschwindigkeiten von bis zu 10 Dies/s (abhängig von der Endkonfiguration) verwendet werden, was ihn zur idealen Wahl für elektrische Vorproduktionsprüfungen an diskreten RF-Geräten macht, wie zum Beispiel:

1. Geeignet für eine Vielzahl von Wafer-Messanwendungen

• Modulmessung - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• Frequenzmessung - bis zu 67 GHz
• Hochleistungsserienprüfung - bis zu 10 kV / 600 A
• Integrierte Schaltkreisdesign-Validierung - Raumtemperatur bis 300 °C

2. Zuverlässigkeit der Massenproduktion

Konzipiert für stabile und zuverlässige Massenproduktionstests rund um die Uhr

Integrierter passiver Stoßdämpfungstisch

Erschütterungshalter optional

Geeignet für Messungen bei Raumtemperaturen bis 300 °C

3. Effizienz und Flexibilität

Einfaches und praktisches Fronttür-Single-Wafer-Design

Großflächiger Arbeitstisch für bis zu 12x DC oder 4x DC + 4x RF-Mikropositioner oder 4,5" Standard-Sondekartenvorrichtungen

Es gibt eine Vielzahl von Wafer-Trägern, 4,5-Zoll-Sondekartenverrichtungen und Zubehör wie DC/RF-Mikropositioner, optische Mikroskope usw., um Ihre Anwendungsanforderungen vollständig zu unterstützen.

Merkmale und Vorteile

1. Umfangreicher Einsatz von Großsondenplatten

Die TS2000-Serie bietet große, leicht zugängliche Sondenplatten für bis zu 12x DC- oder 4x RF-Mikropositioner

Die Integration von Lastentunern oder MicroPositionern für größere Flächen macht das TS2000-System zur idealen Wahl für RF- und mmW-Messungen

2. Einfache Wafer-Ladung

Große Vordertürkanäle für das einfache Laden / Entladen von 100, 150, 200 mm Wafer, Wafer-Fragment oder sogar weniger als 5 * 5 mm IC

Das AUX-Gehäuse befindet sich an der Vorderseite und lässt sich einfach laden / entladen. Einfache automatisierte Methoden zur RF-Kalibrierung und Sondenkartenreinigung ohne Einführungsphase erlaubt

3. Integrierte Hardware-Steuerung

Intelligente Hardware-Steuerplatten, die vollständig in das Sondensystem integriert sind, basieren auf jahrzehntelanger Erfahrung und Kundeninteraktion, um einen schnelleren, sichereren und bequemeren Abteilungs- und Testbetrieb zu ermöglichen

Bei Bedarf können die Positionen von Tastatur und Maus die Software steuern und auch Windows-basierte Instrumente steuern.

Das Vakuum-Steuerpanel für Wafer- und AUX-Schaltplatten befindet sich auf der rechten Vorderseite und ermöglicht die einfache Bedienung beim Be-/Entladen.

4. Integration von Hot Disk

Die Hot-Chips (von 20 ° C oder Umgebungstemperatur bis zu 300 ° C) können mit einem vollständig integrierten Touchscreen-Monitor bedient werden, der an einer bequemen Stelle vor dem Bediener platziert wird, um eine schnelle Bedienung und sofortiges Feedback zu ermöglichen.

5. P-Sondekarte und Mikropositioner - gleichzeitig

Viele einzelne Sonden für dünne Sondenkartenfestiger für 4,5"×11" Sondenkarten sowie der geringere Abstand zwischen Platte und Scheibe sind ideal für die gleichzeitige Erkennung mit aktiven Sonden, was das System zur Konstruktionsprüfung und Fehleranalyse macht.

6. Integration von Darkbox

Der TS2000D ist der TS2000 mit Dark Box!

Das System wurde speziell für optimale Flächenbelastung, eingebettete Verriegelung, LED-Beleuchtung und standardisierte Schnittstellenpanels für verschiedene Messgeräte entwickelt und ist die erste Wahl für Licht- und Lasersicherheitsprüfumgebungen.

Einfacher Zugriff vom Hinterpanel, schnelle und einfache Neukonfiguration oder Ersteinstellung

7. Integration von Instrumenten

Optionale Gerätehalter reduzieren die Kabellänge und verbessern die Messdynamik und Richtung für F- und mmW-Anwendungen

8. Isolierung

Der T52000 verfügt über zwei Arten von Schwingungsisolierungslösungen, die in netzlosen Labortestumgebungen besser funktionieren. Die Gesamtfläche entspricht oder ist kleiner als die in der Industrie häufig verwendeten bestehenden unabhängigen Schwingungsisolationsmessgeräte

9. Softwarepaket SENTIO

Das MPI Automation Engineering-Sondensystem wird durch die einzigartige und revolutionäre Multi-Touch-Bedienungssteuerung der SENTIO-Softwaresuite gesteuert – die einfache und intuitive Bedienung spart viel Trainingszeit und die Befehle Scroll, Zoom und Move imitieren moderne intelligente mobile Geräte, so dass jeder in wenigen Minuten ein Experte wird.

Für RF-Anwendungen ist kein Wechsel auf eine andere Softwareplattform erforderlich - das MPI RF-Kalibrierungssoftwareprogramm QAlibria ist vollständig in SENTIO integriert - einfach zu bedienen, indem ein einziges Betriebskonzept verfolgt wird