TS200 8 Zoll manueller Sondenstand

Das MPI-Charakterisierungssystem für Hochleistungsgeräte wurde speziell für die Prüfung von Hochleistungsgeräten auf Wafers entwickelt. Das MPI TS200-HP Sondensystem bietet eine komplette 200 mm Wafer-Lösung. Sie sind für eine berührungsarme Widerstandsmessung von Leistungshalbleitern in einem breiten Temperaturbereich konzipiert.

II. Produktbeschreibung

1. Multi-Anwendung-Design

Geeignet für eine Vielzahl von Wafer-Messanwendungen, wie z. B. Komponenten-Eigenschaften-Beschreibung und -Modellierung, Wafer-Level-Zuverlässigkeit (WLR), Fehleranalyse (FA), integrierte Schaltungstechnik, Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)

2. Effizienz und Sicherheit

• Schnellbefreiendes Drag-Gas-Float-Design für einfache Einhandbedienung
• Robuste Arbeitstische für bis zu 10 Hochspannungs-HV- oder 4 Hochstrom-HC-Mikropositioner
• Elektromagnetische Schirmboxen und Arbeitstischbogenschirmungen ArcShield für sichere Hochspannungsmessungen
• Dreisegmentige Arbeitstischgriffe (Kontakt - Separation - Loading) für hohe Reproduzierbarkeit

Flexibilität und Upgrade

Es gibt eine Vielzahl von Instrumentanschlussoptionen und Waferträgern, die aktualisiert werden können, sowie Zubehör wie DC/RF/mmW-Mikropositioner, optische Mikroskope, Bildobjektive, elektromagnetische Schirmboxen usw., um die Anwendungsanforderungen vollständig zu unterstützen.

Eigenschaften und Vorteile

1. Luftphase

Die MPI-Luftlagerplattform ist mit einer einfachen einhandigen Scheibensteuerung konzipiert und bietet eine unvergleichliche Bedienungskomfort, die eine schnelle XY-Navigation und eine schnelle Wafer-Ladung ermöglicht, ohne die Fähigkeit zur präzisen und präzisen Positionierung zu beeinträchtigen, und verfügt über ein zusätzliches feines und präzises 25x25mm XY-Theta-Millimeter-Bewegung.

2. 10kV coaxial oder 3kV triaxial ambient Chucks

Die Sperroptionen umfassen die 10kV-Koaxial- oder 3kv-Drehachs-Ringsperr von MP oder eine Vielzahl von ERS-Wärmesperr, die Temperaturmessungen bis zu 300 ° C unterstützen. Die Thermal Touch Controller sind für eine schnelle und einfache Bedienung auf der Sonde konzipiert.

3. HV / HC-Sonden (HV / HC-Sonden)

Die MPI-Hochleistungsdetektionslösungen umfassen spezielle Hochspannungs- und Hochstromsonde, die MPI-patentierte Mehrkontaktspitzen verwenden, um den Kontaktwiderstand zu reduzieren. Die Hochspannungssonde von MPI ermöglicht eine geringe Leckstrommessung während der Hochspannungsprüfung und prüft bis zu 3 kV Drehachsen oder 5 und 10 kV Koaxialeinstellungen.

Sicher und genau (Safe and Accurate)

Das Standard-manuelle Hochleistungsstandsystem ist mit DarkOX ausgestattet und bietet eine Vernetzung von Sicherheits- und EM-Abschirmungsfunktionen, um eine geringe Trocknung, eine genaue und sichere Messung zu gewährleisten.

Integration von Instrumenten (Instruments Integration)

Die TS150-HP/TS200-HP können in einer Vielzahl von Geräteanschlusspaketen konfiguriert werden, einschließlich der erforderlichen Hochspannungs-/Hochstromsonde und Verkabelungszubehör, um eine optimale Verbindung mit Testinstrumenten wie Keysight B1505 (3kV oder 10kV) oder Keithley zu ermöglichen.

4. Funktionelle Parameter

Spezifikationen

Sondenpressplatte

Nicht-thermische Hochleistungskarte