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Raum 322, Block A, Lane 168, South Road, Huinan Town, Pudong, Shanghai
Shanghai Hongze Technologie Co., Ltd.
Raum 322, Block A, Lane 168, South Road, Huinan Town, Pudong, Shanghai
Die Thermo-Reflexion-Methode basiert auf einem Ultra-High-Speed-Laser-Flash-System und misst die thermischen Eigenschaften von Metallen, Keramiken und Polymerfolien auf Substraten, wie z. B. die thermische Diffusivität, die thermische Leitfähigkeit, die thermische Effusivität und den Grenzflächenwiderstand.
Da die Laserblitzzeit nur in der Größe von nanosekunden (ns) und sogar in der Größe von picosekunden (ps) liegt, kann dieses System dünne Folien mit einer Dicke von bis zu 10 nm messen. Gleichzeitig bietet das System verschiedene Messmuster an, um sich an verschiedene Substratsituationen anzupassen (Transparent / Opaque).
Diese Methode entspricht den internationalen Standards:
JIS R 1689: Messung des Wärmediffusionskoeffizienten feiner Keramikfolien mittels der Impulslaserreflektionsmethode;
JIS R 1690: Methode zur Messung des Wärmewiderstands von Keramik- und Metallfolien.
Kurze Entwicklung
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| RF-Messmodus | FF Messmodus | |
| Die Hauptlaserquelle beheizt den Film von der Rückseite, erkennt den Prozess der Temperaturerhöhung des Lasers von der Vorderseite des Messfilms und berechnet somit die Wärmeleitfähigkeitsparameter des Films. Dieses Muster gilt für transparente Substrate. | Die Hauptlaserquelle beheizt die Folie von der Vorderseite, erkennt den Temperaturabfall des Lasers von der Vorderseite, um die Wärmeleitfähigkeitsparameter der Folie zu berechnen. Dieses Muster gilt für undurchsichtige Substrate. |
In der modernen Industrie wird das Wissen über die thermischen Eigenschaften von Materialien, insbesondere die thermophysikalischen Eigenschaften, immer wichtiger. Hier können wir einige typische Bereiche nennen, wie zum Beispiel Kühlstoffe für Hochleistungs-Mikroelektronik, Thermoelektrische Materialien als nachhaltige Energiequelle, Wärmedämmungsmaterialien im Energiesparbereich, Wärmebarrierebeschichtungen (TBC) in Turbinenblättern, sowie den sicheren Betrieb von Kernkraftwerken usw.
Unter den verschiedenen thermophysikalischen Parametern ist die Wärmeleitfähigkeit besonders wichtig. Der Wärmediffusionskoeffizient/Wärmeleitfähigkeit eines Materials kann mit der Laserblitzmethode (LFA) bestimmt werden. Diese Methode ist seit vielen Jahren bekannt und liefert zuverlässige und präzise Datenergebnisse. Die typische Dicke der Probe liegt zwischen 50um und 10mm.
NETZSCH ist ein weltweit führender Gerätehersteller, der eine Reihe von Thermoeigenschaftsprüfgeräten, insbesondere Laserflashleitern, anbietet. Diese LFA-Systeme werden in Keramik, Metall, Polymer, Kernforschung und anderen Bereichen weit verbreitet.
Mit den erheblichen Fortschritten bei der Konstruktion von Elektronikgeräten und der daraus resultierenden Nachfrage nach einem effektiven Wärmemanagement ist es immer wichtiger geworden, präzise Wärmediffusionskoeffizienten / Wärmeleitfähigkeitskoeffizienten im Dickenbereich von Nanometern zu messen.
Das japanische Institut für fortschrittliche industrielle Wissenschaft und Technologie (AIST) reagierte bereits Anfang der 1990er Jahre auf die Bedürfnisse der Industrie und begann mit der Entwicklung der "Impulslichtbeheizungsthermischen Reflexionsmethode". Die Firma PicoTherm wurde 2008 gegründet und führte gleichzeitig das Nanosekund-Wärmereflexionsgerät „NanoTR“ und das Picosekund-Wärmereflexionsgerät „PicoTR“ auf den Markt, die die absolute Messung des Wärmediffusionskoeffizienten von Folien mit einer Schichtdicke von Dutzenden Mikrometer bis zu Nanometern ermöglichen.
Im Jahr 2014 wurde NETZSCH Japan exklusiver Vertreter von PicoTherm. In Kombination mit unseren bestehenden LFA-Instrumenten bietet NETZSCH nun eine komplette Palette von Testlösungen von Nanofilmen bis hin zu Millimetermaterialien.
Die Dicke eines Nanofilms ist in der Regel kleiner als die typische Korngröße eines ähnlichen Blockmaterials. Daher unterscheiden sich ihre thermophysikalischen Eigenschaften erheblich vom Blockmaterial.
Wärmediffusionszeitbereiche für verschiedene Instrumente
Technische Parameter:
NanoTR
PicoTR
Gastgeber
Temperaturbereich
真空度
MessmodusRT, RT ... 300 °C (optional)
N/A
RF/FFRT, RT … 500°C (optional)
10-6 mbar (optional)
RF/FF
Messprojekte
Wärmediffusionskoeffizient, Wärmeabsorptionskoeffizient, Wärmewiderstand der Schnittstelle
Laserbeheizung
Pulsbreite
Wellenlänge
Flecken Durchmesser1 ns
1550 nm
100 μm0,5 PS
1550 nm
45 μm
Laserdetektion
Pulsbreite
Wellenlänge
Flecken DurchmesserKontinuierlich
785 nm
50 μm0,5 PS
775 nm
25 μm
Probendicke
(RF-Modus)Harz
Keramik
Metallvon 30 nm. .. 2 μm
von 300 nm. .. 5 μm
von 1 μm. bis zu 20 μmvon 10 nm. .. 100 nm
von 10 nm. 300 nm
von 100 nm. .. 900 nm
Probendicke
(FF-Modus)
> 1 μm
> 100 nm
Substrat
Material
Größe
DickeUndurchsichtig / Transparent
10 bis 20 mm Quadrat
≤ 1 mm
Wärmediffusionszeit
10ns. .. 10 µs
10 Punkte. .. 10ns
Wärmediffusionskoeffizient
Umfang
Genauigkeit
Wiederholbarkeit0.01 . .. 1000 mm²/s
CRM 5808A, 400 nm Dicke, RF-Modus, 40 min Prüfzeit Verifizierung: ± 6,2%
± 5%
Softwarefunktionen
Berechnung der thermischen Eigenschaften; Mehrschichtliche Analyse; Datenbank