Laborkühler｜Einfache Bedienung

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Im Folgenden sind die technischen Analysen und Anwendungspunkte für die Bereitstellung von Kühlquellen für den Halbleiterherstellungsprozess von Tiefkühlmaschinen mit Frequenzumrichtern umfassend erläutert, in Verbindung mit den Anforderungen der Industrie und den Suchdaten:

Kernanwendungsszenarien in der Halbleiterherstellung

1Schlüsselprozess der Wafer-Herstellung

Lithographieprozess: Schnelle Kühlung der Lithographienelemente（wie Laser, Linsen）Vermeiden Sie, dass Temperaturschwankungen zu Veränderungen der Lithographie-Klebstoff führen und die Belichtungsgenauigkeit beeinflussen. Durch die dynamische Einstellung der Drehzahl des Kompressors±0.1℃Genaue Temperaturregelung, um die Auflösung des Chips zu gewährleisten.

2Erosion und Film-Ablagerung

Plasmagravierung undCVD und PVDDie Temperatur der Reaktionsräume muss während des Prozesses stabilisiert werden.-40℃~200℃Breiter Temperaturbereich, Tiefkühlmaschine mit Frequenzumrichter durch mehrstufiges Kühlsystem（wie Halbleiterkühlung）Schnelle Wärmeausführung, Auswirkungen auf Nebenreaktionen und Verbesserung der Filmgleichmäßigkeit.

3Wafer Reinigung und Polieren

Die Reinigungsflüssigkeitstemperatur muss genau gesteuert werden, um zu verhindern, dass chemische Lösungen die Wafer-Oberfläche durch Temperaturschwankungen beschädigenCMPAbkühlung der Polierpatte während des Prozesses, um Oberflächenfehler durch Reibungshärme zu reduzieren.

4Verpackung und Test

Tiefkühlmaschine für Chiphärtung, Brünen und andere Hintergrundprozesse-80℃Tieftemperatur（Bei Verwendung von Ethanolkühlmitteln）Beschleunigt den Aushärtungsprozess und verringert die Wärmespannung und erhöht die Zuverlässigkeit der Verpackung.

II. Auswahl und Wartung

Kühlkapazität passend

Redundanz aufgrund der Prozessspitzenbelastung, z. B. der nominalen Wärmeableitung einer Erosionsanlage50 kWWählen Sie die Kühlmenge≥60kWTiefkühlmaschinen.

Umweltanpassung

Cleanroom Szene muss konfiguriert werdenHEPAFiltersystem;Korrosive Umgebung bevorzugt Titanlegierungsmaterial;Bei explosionssicheren Anforderungen wird ein explosionssicheres Isolationsmodell ausgewählt.

Frequenzumrichter Tiefkühlmaschinen Mit den Vorteilen des breiten Temperaturbereichs, der hohen Präzision und der Intelligenz muss die Auswahl der Prozessanpassung berücksichtigen. Wenden Sie sich an einen Corona Thermostat Engineer, um Ihnen einen Auswahlservice zu bieten.