Ionenschleifmaschine

SEMPREP SMARTIonenschleifmaschine

SEMPREP SMARTIonenschleifmaschineAusgestattet mit hoher Energie und optional niedriger Energie Argon-Ionen-Pistole. Dieses Gerät ist ideal für die Endbearbeitung und Reinigung von Scan-Elektronenmikroskop (SEM) und Elektronenrückstrahlungsdiffraktionsproben (EBSD). Die Ionenverarbeitung verbessert und reinigt mechanisch polierte SEM-Proben und bereitet schädigungsfreie Oberflächen für die EBSD-Analyse vor. Das Gerät eignet sich auch für die schnelle Schnittbearbeitung. Die Vorbereitung von hochpräzisen und qualitativ hochwertigen Proben für Sie kann zum Beispiel bei Halbleiterprüfungen oder Schnittprüfungen der Lithium-Ionen-Batteriediamembran hervorragende Ergebnisse erzielen.

Hauptmerkmale:

• Fortgeschrittenes Ionenpistolen-Design und Automatisierungsfunktionen

• Neue benutzerfreundliche Bediensoftware: Intelligente Unterstützung

• Genauere Nadelventile: ermöglicht eine feine Einstellung des Luftstroms

• Hohe Präzisionseinstellbarkeit: zur Feinstellung des Betriebs
• Langlebige Hochvakuumsensoren

Produkteigenschaften:

• Optionale Low Energy Gun (LEG)

• Optionales neues LN2-Kühlsystem

• Optionale Vakuumtransfereinrichtung (VTU) zur Probenaufnahme unter Vakuumbedingungen

• Unabhängiger Gegenstand-Probentesch: für eine präzise Probenpositionierung bei einer 90°-Bearbeitung

Technische Parameter:

Ionenpistolen:

Ultrahochenergetische Ionenpistole bis zu 16 keV

Probengröße

Schnittprobenständer (optional 30°- und 90°-Probenständer):

• 30° Probentasch: Maximale Größe 16,4 mm (Länge) x 16 mm (Breite) x 3,1 mm (dick)

• 90° Probentasch: Maximale Größe 18,6 mm (Länge) x 16 mm (Breite) x 6 mm (dick)

Flacher Probentisch für die Oberflächenbearbeitung (EBSD) mit drei verschiedenen Kopftypen

• Flachkopf: Max. Durchmesser 50mm x 4mm

• Standard: Maximaler Durchmesser 32mm x 15mm

• Hohltyp: max. Durchmesser 25mm x 23mm

Bewegung der Probe

• Neigungswinkel der Probe: 0° bis 30°, kontinuierlich je 0,1° einstellbar

• Drehwinkel der Probe: 360 Probenroutung mit variabler Geschwindigkeit, einstellbare Winkelgeschwindigkeit

• Probenbearbeitungswinkel (Schaukel): ±10° bis ±120°, kontinuierlich je 5° einstellbar

Probenkühlung (optional)

Flüssigstickstoffkühlung oder Peltierkühlung

Vakuumsystem

Ölfreie Membranpumpen und Molekularpumpen

Gasversorgungssystem

Argon-Arbeitsgas mit einer Reinheit von 99,999 % und einem hochpräzisen NadelventilstromSteuerung

Molekularpumpe

Die HiPace 80 Neo.

Bildgebungssysteme

5-Megapixel-CMOS-Kamera mit Messfunktionen im Bild

Computer-Steuerung

Einfach zu bedienende grafische Schnittstelle zur automatisierten Bedienung von Ionenpistolen und ProbenständenPositionkalibrierung

Bearbeitung mit Argon-Ionenstrahlen