HMDS Vakuumtrockner Serie 6210

HMDS VakuumtrocknerHMDS-6210 Eigenschaften:
In der Halbleiterproduktion ist die Lithographie ein wichtiger Prozessbereich der Grafikübertragung der integrierten Schaltung, die Beschichtungsqualität wirkt sich direkt auf die Qualität der Lithographie aus, und der Beschichtungsprozess ist besonders wichtig. Die überwiegende Mehrheit der Photogravierungen in der Beschichtung ist hydrophob, und die Hydroxyl- und restlichen Wassermoleküle auf der Siliziumoberfläche sind hydrophil, was zu einer schlechten Haftung von Photogravierungen und Siliziumfliechen führt, vor allem positivem Kleber, während die Bildung die Bildungsflüssigkeit in die Verbindung von Photogravierungen und Siliziumfliechen eindringt, was leicht zu Drift, Float, etc. führt zu einem Fehler der Photogravierungsgrafikübertragung, während die nasse Korrosion leicht seitliche Korrosion auftritt. Das Klebemittel HMDS (Hexamethyldisilanatan) kann diesen Zustand sehr gut verbessern.

HMDS Vakuum Trockner HMDS-6210 Ofen Eigenschaften:
1, das Gehäuse ist aus Edelstahl SUS304 Material hergestellt, das Innere Gel ist aus Edelstahl 316L Material hergestellt; Die Heizung ist gleichmäßig um die Außenwand der Innengalle verteilt, ohne elektrisches Zubehör und brennbare Explosionsvorrichtungen. Die gehärtete, kugelsichere Doppelglastür beobachtet die Objekte im Studio auf einen Blick.
2, HMDS Vorbehandlung Ofen Tür geschlossen locker fest reguliert, die gesamte Formung Silikon Gummi Tür Dichtung, um einen hohen Vakuum im Kasten zu gewährleisten.
3, Mikrocomputer intelligentes Thermometer, mit Einstellung, Messung der Temperatur doppelte digitale Anzeige und PID-Selbstintegrierungsfunktion, präzise und zuverlässige Temperaturregelung.
Das intelligente Touchscreen-Steuersystem unterstützt das japanische Mitsubishi PLC-Modul, das den Benutzern ermöglicht, das Programm, die Temperatur, den Vakuumgrad und die Zeit jedes Programms entsprechend verschiedenen Prozessbedingungen zu ändern.
5, HMDS-Gasdichte automatische Absaugung hinzugefügt Design, Vakuum-Box-Dichtung ist gut, um sicherzustellen, dass HMDS-Gas keine Sorgen über Leckage.
6, das gesamte System ist aus hochwertigen Materialien hergestellt, kein Staubmaterial, geeignet für die Reinigung der Umgebung mit 100 Lichtstufen.

HMDS Vorbehandlungssystem

HMDS-6020 Vakuumtrockner technische Parameter:
Versorgungsspannung: AC 220V ± 10% / 50Hz ± 2%
Eingangsleistung: 1500W
Temperaturbereich: Raumtemperatur + 10 ℃ - 250 ℃
Temperaturauflösung: 0,1 ℃
Temperaturschwankungen: ± 0,5 ℃
Vakuumgehalt: 133Pa
Volumen: 20L
Studiogröße (mm): 300 * 300 * 275
Größe (mm): 465 * 465 * 725
Fahrzeugträger: 1 Stück
Zeiteinheit: Minuten

HMDS-6090 Vakuumtrockner technische Parameter:
Versorgungsspannung: AC 220V ± 10% / 50Hz ± 2%
Eingangsleistung: 3000W
Temperaturbereich: Raumtemperatur + 10 ℃ - 250 ℃
Temperaturauflösung: 0,1 ℃
Temperaturschwankungen: ± 0,5 ℃
Vakuumgehalt: 133Pa
Volumen: 90L
Studio Größe (mm): 450 * 450 * 450
Größe (mm): 615 * 615 * 900
Fahrzeugträger: 2 Stück
Zeiteinheit: Minuten

HMDS-6210 Vakuumtrockner technische Parameter:
Stromversorgungsspannung: AC 380V ± 10% / 50Hz ± 2%
Eingangsleistung: 4000W
Temperaturbereich: Raumtemperatur + 10 ℃ - 250 ℃
Temperaturauflösung: 0,1 ℃
Temperaturschwankungen: ± 0,5 ℃
Vakuumgehalt: 133Pa
Volumen: 210L
Studio-Größe (mm): 560 * 640 * 600
Größe (mm): 720 * 820 * 1050
HMDS Vorbearbeitungsofentrager: 3 Stück
Zeiteinheit: Minuten

Zubehör auswählen
Vakuumpumpen: Deutsche Marke, Leipzig "DC" Bipolar-Serie Rotationsölpumpen, hohes Endvakuum, geringes Geräuschvermögen und stabiler Betrieb. Verbindungsrohr: Wellenrohr aus Edelstahl, vollständig versiegelt, um die Vakuumpumpe mit dem Ofen zu verbinden.

Notwendigkeit eines HMDS-Vorbehandlungssystems:
In der Halbleiterproduktion ist die Lithographie ein wichtiger Prozessbereich der Grafikübertragung der integrierten Schaltung, die Beschichtungsqualität wirkt sich direkt auf die Qualität der Lithographie aus, und der Beschichtungsprozess ist besonders wichtig. Die überwiegende Mehrheit der Photogravierungen in der Beschichtung ist hydrophob, und die Hydroxyl- und restlichen Wassermoleküle auf der Siliziumoberfläche sind hydrophil, was zu einer schlechten Haftung von Photogravierungen und Siliziumfliechen führt, vor allem positivem Kleber, während die Bildung die Bildungsflüssigkeit in die Verbindung von Photogravierungen und Siliziumfliechen eindringt, was leicht zu Drift, Float, etc. führt zu einem Fehler der Photogravierungsgrafikübertragung, während die nasse Korrosion leicht seitliche Korrosion auftritt. Das Klebemittel HMDS (Hexamethyldisilanatan) kann diesen Zustand sehr gut verbessern. Nach der Beschichtung des HMDS auf die Siliziumoberfläche reagiert das Aufheizen im Ofen zu einer Verbindung mit Silikon. Es ist gelungen, die Siliziumoberfläche von hydrophilen zu hydrophoben zu verwandeln, und seine hydrophobe Basis kann sich gut mit der Photogravur verbinden und als Verbindungsmittel wirken.

Prinzipien des HMDS-Vorbehandlungssystems:
HMDS-Vorbehandlungssystem kann eine HMDS-Schicht auf der Siliziumflieche und der Substratoberfläche durch die Parameter wie die Arbeitstemperatur, die Verarbeitungszeit und die Haltezeit des HMDS-Vorbehandlungsprozesses des Vakuumtrocknerkammers gleichmäßig beschichten, um den Kontaktwinkel der HMDS-Siliziumflieche nach der Behandlung zu verringern, die Menge an Photogravierkleber zu verringern und die Haftung von Photogravierkleber und Siliziumfliechen zu verbessern.

Allgemeine Arbeitsabläufe für HMDS-Vorbearbeitungssysteme:
Bestimmen Sie zuerst die Arbeitstemperatur. Typisches Vorbehandlungsverfahren ist: Öffnen Sie die Vakuumpumpe, um das Vakuum zu pumpen, warten Sie auf die wahre Festigkeit des Hohlraums, um einen bestimmten hohen Vakuumgrad zu erreichen, beginnen Sie mit der Füllung von Stickstoff, um einen bestimmten niedrigen Vakuumgrad zu erreichen, um den Prozess der Pumpe und Füllung von Stickstoff aufzunehmen, um die eingestellte Anzahl der Füllungen von Stickstoff zu erreichen, beginnen Sie eine Weile zu halten, damit die Siliziumflatte vollständig erwärmt wird, um die Feuchtigkeit der Siliziumflatte Dann beginnen Sie erneut, das Vakuum zu pumpen, das HMDS-Gas zu füllen und nach der Einreise der eingestellten Zeit aufzuhören, die HMDS-Flüssigkeit zu füllen und in die Haltephase einzugehen, damit die Siliziumflatte vollständig mit dem HMDS reagiert. Wenn die eingestellte Haltezeit erreicht ist, fangen Sie erneut an, das Vakuum zu pumpen. Füllen Sie Stickstoff auf, um den gesamten Betriebsprozess abzuschließen. HMDS und Silizium Reaktionsmechanismus wie in der Abbildung: zuerst auf 100 ° C-200 ° C erhitzt, entfernt die Feuchtigkeit der Silizium-Oberfläche, dann reagiert HMDS mit der Oberfläche OH, erzeugt Silizium-Ether in der Silizium-Oberfläche, beseitigt die Wasserstoffbindung, wodurch die polare Oberfläche in eine nicht-polare Oberfläche wird. Die gesamte Reaktion dauert so lange, bis die räumliche Bitresistenz (größeres Trimethylsilkanyl) ihre weitere Reaktion verhindert.

Abgasemissionen usw.: Der überschüssige HMDS-Dampf (Abgas) wird von einer Vakuumpumpe abgepumpt und in eine spezielle Abgassammelleitung abgegeben. Eine spezielle Behandlung ist erforderlich, wenn keine speziellen Abgassammelleitungen vorhanden sind.