Modulare SEM-Plattform für intuitive Bedienung, Routineprüfung und Forschungsanwendungen

Die EVO-Serie kombiniert leistungsstarke Scannelektroskope mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche, die sowohl erfahrene als auch neue Anwender anzieht. Ob im Bereich der Life Sciences, der Materialwissenschaften oder der routinemäßigen industriellen Qualitätssicherung und Ausfallanalyse, mit einer breiten Auswahl an optionalen Konfigurationen kann EVO auf Ihre Anforderungen zugeschnitten werden.

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• Vielseitige Lösungen für Mikroskopzentren oder industrielle Qualitätssicherungslabore

• Verschiedene Vakuumkammergrößen und Transportoptionen für alle Anwendungsanforderungen - auch für große Proben von Industrieteilen

• Mit dem LaB6-Leiter erhalten Sie eine hervorragende Bildqualität

• Ausgezeichnete Bildgebung und Analyse von Proben mit nicht leitenden und nicht leitenden Beschichtungen

• Mehrere Analysedetektoren können konfiguriert werden, um die Anforderungen einer Vielzahl von Mikroanalyseanwendungen zu erfüllen

Vorteile

Bequeme Verfügbarkeit

SmartSEM Touch ermöglicht die interaktive Steuerung des Workflows mit Ihrer Fingerspitze. Es ist einfach zu lernen, reduziert den Aufwand und die Kosten für die Schulung erheblich und sogar neue Benutzer können in wenigen Minuten atemberaubende Bilder aufnehmen. Diese Benutzeroberfläche unterstützt auch industrielle Bediener, die Arbeitsabläufe automatisieren müssen, um wiederholbare Prüfaufgaben durchzuführen.

Ausgezeichnete Bildqualität

EVO ist spezialisiert auf die Erhebung qualitativ hochwertiger Daten von Proben, die nicht behandelt und ohne leitende Beschichtung sind. EVO ermöglicht es auch, die Probe in ihrem ursprünglichen Zustand zu behalten und die Datenqualität von wasserhaltigen und schwer verschmutzten Proben aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus bietet die Wahl von LaB6-Leitern eine bessere Auflösung, Kontrast und Signal-Rausch-Verhältnis, wenn Bildgebung und Spuranalyse Herausforderungen stellen.

EVO kann mit anderen Geräten verbunden werden

EVO kann als Teil eines halbautomatischen, multimodalen Workflows die Integrität der Informationen durch die Neuausrichtung von Interessenbereichen und die Sammlung von Daten auf verschiedene Weise schaffen. Kombinieren Sie optische und Elektronenmikroskopbilder zur Materialcharakterisierung oder zur Teileprüfung oder verknüpfen Sie EVO mit einem ZEISS-Optikmikroskop zur assoziierten Partikelgrößenanalyse.

Für mehr Benutzer geeignet

Bequem für erfahrene und Anfänger

In der realen Laborumgebung ist der Betrieb von SEM in der Regel ein ausschließlicher Bereich für Mikroskop-Experten. Die Bedienung von SEM wird jedoch für Nicht-Experten eine Herausforderung, wie Studenten, Auszubildende oder Qualitätsingenieure, die oft auch Daten aus dem SEM abrufen müssen. EVO berücksichtigt die Bedürfnisse beider Benutzergruppen, und die Benutzeroberflächenoptionen sind sowohl für erfahrene Mikroskopespezialisten als auch für nicht-professionelle Benutzer geeignet.

Expertenbenutzer

Benutzeroberfläche: SmartSEM

Fachanwender können erweiterte Bildparameter und Analysefunktionen abrufen und einstellen.

SmartSEM: Steueroberfläche für erfahrene Anwender

Neue Benutzer

Benutzeroberfläche: SmartSEM Touch

Anfänger können vordefinierte Workflows und einige häufig verwendete Parameter verwenden - ideal für Anfänger.

SmartSEM Touch: Eine vereinfachte grafische Benutzeroberfläche, die auf einem Touchscreen-Computer ausgeführt wird

Intelligente Navigation und Bildgebung

Erhöhung der Testeffizienz von Proben und mehr Datenausgabe

Zeiss Navigationskameras

Die Kamera kann vor der Lagerkammer installiert werden, um die relative Position zwischen der Probe und dem Rückstreuungsdetektor sowie dem unteren Objektiv zu überwachen (Lagerkamera); Oder über der Lagertür der Vakuumkammer (Navigationskamera) installiert, um die Position der Proben auf dem Probentesch in der Aufsicht zu sehen. Diese Ansicht kann verwendet werden, um vordefinierte Positionen festzulegen, die aus dem optischen Mikroskopbild erkannt werden, und Sie können während des gesamten Probentests einfach navigieren.

Intelligente Bildgebung automatisieren

EVO ermöglicht die automatische, unbeaufsichtigte Bilderfassung von Proben. ZEISS Automation Intelligent Imaging ist ideal für Routineprüfungen geeignet. Es ermöglicht es den Benutzern, die Grenzbereiche anzupassen, die gewünschten Ansichten automatisch zu generieren oder die Interessenbereiche zu vergrößern, die durch die Vergrößerung festgelegt werden, und beginnt mit dem automatischen Abrufen von Bildern. Die automatisierte intelligente Bildgebung wird die Testeffizienz der Proben und die Datenausgabe erheblich verbessern.

Erhöhen Sie Ihre Forschung auf ein Niveau

Besseres Bild mit einem Lithium-Hexaborid-Elektronensender

Im Vergleich zu herkömmlichen Wolfram-Haarklammern können die Elektronen, die von Tinium-Hexaborid-Katoden emittiert werden, die zusätzliche Bildqualität gewährleisten, die Sie benötigen. Dieser Vorteil zeigt sich in zwei Aspekten:

• Bei gleicher Elektronensondengröße (d. h. Auflösung) ist mehr Sondenstrom verfügbar, was die Bildnavigation und -optimierung erleichtert

• Bei gleichem Sondenstrom (Signal-Rausch-Verhältnis) ist der Durchmesser des Flecks deutlich kleiner, wodurch die Bildauflösung verbessert wird
  

Katalysatorpartikel mit hoher Vergrößerung bei niedriger Beschleunigungsspannung (links: Wolframmdraht, rechts: LaB6-Lampdraht)
Bei anspruchsvollen Bildverarbeitungsbedingungen haben Benutzer, die LaB6-Filtre verwenden, bis zu 10-mal mehr Strahlenhelligkeit, was die Bildauflösung und den Kontrast verbessert.

EVO kann mit anderen Geräten verbunden werden

Vorteile der Workflow-Automatisierung und des assoziierten Mikroskops

Shuttle & Find vereint EVO, optische Mikroskope und digitale Mikroskope in einem vernetzten, multimodalen Workflow

Da ZEISS ein ausgezeichneter Anbieter für alle Arten von Mikroskopen und Messsystemen ist, können Sie EVO auch mit anderen ZEISS-Lösungen kombinieren, um seine Funktionalität zu verbessern.

Mit Shuttle & Find (Software-Hardware-Teil des ZEISS-assoziierten Mikroskops) können Sie einen effizienten Workflow zwischen dem (digitalen) optischen Mikroskop und dem EVO erstellen. Kombinieren Sie die einzigartige optische Vergleichsmethode des optischen Mikroskops mit der gleichen einzigartigen Scan-Elektroskop-Bildgebung und Analysemethode, um ergänzende Daten zu erhalten, um ein klareres Verständnis des Materials, der Qualität oder des Fehlermechanismus der Probe zu erhalten.

Zeiss SmartEDX

Integrierte EDS-Lösung für konventionelle SEM-Mikroanalyseanwendungen

Wenn ein vollständiges Verständnis eines Bauteils oder einer Probe allein mit der SEM-Bildgebungstechnik nicht möglich ist, erfassen die Forscher Informationen über die räumliche Verteilung der chemischen Zusammensetzung der Elemente mit dem Energiespektrometer (EDS).

• Optimiert für herkömmliche Mikroanalyseanwendungen

Die Kombination von SEM und EDS muss sorgfältig und sorgfältig berücksichtigt werden. Der SmartEDX auf EVO ist ideal für konventionelle Mikroanalyseanwendungen und besonders für Kunden mit hohen Datenwiederholungsanforderungen. Es hat einen hohen Durchfluss bei 129 eV Energieauflösung und 1-5 nA Sondenstrom (typische EVO-Arbeitsbedingungen). Dank der ausgezeichneten Durchlässigkeit der Siliziumnitridfenster eignet sich SmartEDX besser für die Erkennung von Röntgenenergien aus leichten Elementen.

• Grafische Benutzeroberfläche für Workflows

SmartEDX soll die Benutzerfreundlichkeit und die Wiederholbarkeit von Workflows in einer Mehrbenutzerumgebung verbessern. Wie andere ZEISS Workflow-gestützte Softwarelösungen wie SmartSEM Touch, ZEN Core oder Shuttle & Find von EVO ist die SmartEDX-Software einfach zu lernen, intuitiv zu bedienen und hilft dabei, die Wiederholbarkeit der Analyseaufgaben an SEM zu gewährleisten, insbesondere in Umgebungen, in denen mehrere Bediener das System verwenden.

• Vollständiger ZEISS Service und Systemsupport
  
  SmartEDX wird von ZEISS umfassend unterstützt und ist daher ideal für Kunden, die die Anzahl der Anbieter von Analysegeräten optimieren möchten. Die gesamte Installation, Präventivwartung, Garantie, Diagnose und Reparatur, Ersatzteillogistik sowie der gesamte Systemservicevertrag sind von ZEISS übernommen und unterstützen Ihre SEM-Analyselösungen von einem ganzheitlichen Standort aus.
  

EVO Serie

Auswahl der Vakuumkammergröße

	Das ZEISS EVO 10	Das ZEISS EVO 15	Das ZEISS EVO 25
	Die Wahl des EVO 10 (optional mit BSD und EDS) ist der Einstiegspunkt, um ein Scan-Elektronenmikroskop zu einem sehr erschwinglichen Preis zu kaufen. Auch wenn diese EVO-Vakuumkammer klein ist, unterscheidet sie sich von einem Desktop-Elektroskop. Ihre Investition in EVO stellt sicher, dass Sie für Anwendungen bereit sind, die in Zukunft mehr Platz und Häfen benötigen.	EVO 15 zeigt das Flexibilitätskonzept der EVO-Familie und ist in Analyseanwendungen ausgezeichnet. Wählen Sie die EVO 15 größere Vakuumkammer und fügen Sie variablen Druck-Muster für die Bildgebung und Analyse von nicht leitenden Proben oder Teilen, haben Sie eine vielseitige Multipurpose-Mikroskop-Gerät oder eine Lösung für die industrielle Qualitätssicherung Labor.	Die EVO25 ist die führende Lösung für die Industrie und bietet ausreichend Platz für noch größere Bauteile und Komponenten. Die optionale 80 mm Z-Achse-Fahrstrecke erweitert die Funktionalität des EVO 25 um Proben mit einem Gewicht von bis zu 2 kg zu verarbeiten und sogar zu neigen. Darüber hinaus können große Vakuumkammern mehrere Analysedetektoren aufnehmen, um anspruchsvolle Anforderungen an Mikroanalyseanwendungen zu erfüllen.
Maximale Probenhöhe	100 mm	145 mm	210 mm
Maximaler Probendurchmesser	230 mm	250 mm	300 mm
Elektrische Fahrbahn XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (oder 80) mm
Hochvakuummodus (HV) Bildgebung und Analyse der leitfähigen Probenqualität
Variables Druckmodus (VP) Qualitativ hochwertige Bildgebung und Analyse von leitenden und nicht beschichteten Proben
Erweiterter Druckmodus (EP) Bildgebung von wasserhaltigen oder kontaminierten Proben in ihrem natürlichen Zustand

ZEISS EVO Anwendungsfälle

Anwendungsbeispiele

• Produktions- und Montagefirmen

• Elektronikbranche

• Stahl und andere Metalle

• Rohstoffe

• Materialwissenschaften

• Lebenswissenschaften

• Gerichtsprüfung

• Produktions- und Montagefirmen

  

  Elektrobeschichtung mit Zinkphosphat, Bildgebung mit SE-Detektoren im Hochvakuummodus

  

  Autositz Matte Schaumstoff, Bildgebung mit BSE-Detektor im variablen Vakuummodus, Probe unbeschichtete Leitschicht

  

  Schnittfläche aus Edelstahl, Hochvakuum-Modus Sekundärelektronische Bildgebung

• Qualitätsanalyse / Qualitätskontrolle

• Fehleranalyse / Metallphasenanalyse

• Reinigungsprüfung

• Morphologische und chemische Analyse von Partikeln, um die Normen ISO 16232 und VDA 19 1 und 2 zu erfüllen

• Analyse nichtmetallischer Zwischenstoffe