Membran Dicke Controller

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Kurze Einführung: Der CY-FDC-S-Filmdickenregler eignet sich für eine Vielzahl von Beschichtungsdickenkontrollen wie Elektronenstrahlbeschichtung, Magnetronsputterung und Widerstandswärmeverdampfung. Schließkreissteuerung mit Verdampfungsquelle, Echtzeit-Steuerung und Anzeige der vollständigen Beschichtungsdaten, einschließlich Leistung, Geschwindigkeit, Dicke und Zeit, können komplexe optische und metallische Mehrschichtfolien beschichtet werden, verschiedene Operationen durch Touchscreen-Steuerung erreichen, die intuitiver als die herkömmliche Tastenbedienung ist. Die Instrumentenprogrammierung ist sehr bequem, insgesamt 8 Membransysteme können eingestellt werden, jede Membransystem hat 100 Schichten Beschichtung, um Ihre Mehrschichtbeschichtung zu erleichtern. Diese Funktionen bieten Ihnen eine gute Grundlage für den Beschichtungsprozess. Der FDC-S-Membrandickenregeler verfügt über folgende spezielle Funktionen: manuelle Steuerung; Künstliche Beendigung der Beschichtung, Beschichtung nach der aktuellen Leistung bei Kristallschwingungsausfall, Umschaltung des Chips bei Kristallschwingungsausfall (Multichip-Sonde), Unterbrechungsmembransystem, gleichzeitige Vorschmelzung zweier Quellen, Passwortschutz usw.

Produktdetails

Details:

Membran Dicke Controller

Technische Merkmale:

1. Vollbetruckbildschirm, einfach zu bedienen;

2.32Eine Membran, jede Membran50/100Schicht automatische Beschichtung;

3. 12Straßensignaleingang/12Schaltvolumenausgang;

4. Vollautomatischer, halbautomatischer und manueller Steuermodus;

5.Steuerbar2Eine Quelle, eine Arbeitsgruppe eine andere Vorlösung;

Technische Parameter

	CY-FDC-S Controller
Schwingungsfrequenz	6MHz (optional 2,5M 3M 5M 9M Kristall)
Anzeigemethode	5" Farb Touchscreen + Digital Tube Anzeige Geschwindigkeit und echte Dicke
Betriebsweise	Touchscreen
Enddicke	00μ0000Å-99μ9999Å
Dicke Anzeigeauflösung	1Å/s
Geschwindigkeitsanzeigeauflösung	0.1Å/s
Anzahl der Beschichtungsschichten	32 Membransysteme, jede Membransystem 50/100 Schichten;
Anzahl der Sonden	A B
Werkzeugfaktor	0.01-99.99
Zeitanzeige	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Leistungsanzeige	0～99.9%
Vorschmelzleistung	0～99%
Vorbeschichtete Leistung	0～99.9%
Vorschmelzzeit / Vorbeschichtungszeit	0～99:99 m:s
Vorgeschmolzene Isolationszeit / Vorbeschichtete Isolationszeit	0～99:99 m:s
Beschichtungsgeschwindigkeit (Einstellgeschwindigkeit)	0～999.9Å/s
Materiallagerung	257 + 10 benutzerdefinierte
Kommunikation	RS232/RS485
Steuerbare Verdunstungsquelle	2, kann ein Set arbeiten, ein anderes Set vorgelöst
Ausgangssteuerung	±10V/5V/2.5V
I/Schnittstelle	12 Signaleingange / 12 Schaltvolumenausgänge
Anzahl regulierbarer Tiegel	1 bis 16
Beschichtung Anzeige	Geschwindigkeitskurve/Wert
Anzahl der Beschichtungsreisen	50/100 Schichten pro Membran automatisch
Gehäusegröße	480 x 280 x 89mm (2U 19" Gehäuse)

Besondere Funktionen:

1Manuell, halbautomatisch, automatisch3Beschichtungsmodus, um eine Vielzahl von Beschichtungsmaschinenkonfigurationen zu erfüllen;

2Künstliche Beendigung der Beschichtung: Künstliche Beendigung der Beschichtung während der Beschichtung;

3Manuelle Steuerung: Bestimmung der Anforderungen an den ersten Beschichtungsprozess;

4Unterbrechungsfilm: Probleme oder Fehler in der automatischen und halbautomatischen Beschichtung gefunden, kann die Beschichtung stoppen und den aktuellen Zustand automatisch speichern, nach dem Fehler **, kann die Beschichtung von der Unterbrechungsfilm fortgesetzt werden;

5Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung, wenn die Kristallschwingung ausfällt, können Sie die Beschichtung beenden, die Beschichtung nach der aktuellen Leistungszeit auswählen und den Switch-Chip fortsetzen (Multi-Chip-Sonde);

6Zwei Quellen gleichzeitig vorschmelzen: während der aktuellen Schichtbeschichtung beginnen, können Sie gleichzeitig auf die2Schichten werden vorgeschmolzen, um zeitanspruchsvolle Gelegenheiten zu erfüllen;

7Passwortschutz: Membransystem und Membranschichtparameter Passwortschutzfunktion, um die Prozessparameter nicht von Nicht-Prozesspersonal zu ändern;

8Beschichtungsdatenaufzeichnung: Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung kann das System die Filmbildungszeit und die Parameter der Enddicke pro Schicht aufzeichnen.

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