Chemische Laborkühlmaschinen _ Nicht-Standard-Anpassung

Chemische Laborkühlmaschinen _ Nicht-Standard-Anpassung

Chemische Laborkühlmaschinen _ Nicht-Standard-Anpassung

Halbleiteranlagenkühler in Anwendungen mit hoher Wärmemessung und -regelung erfüllen die Anforderungen an hohe Temperaturstabilität, schnelle Wärmeabkühlung und Korrosionsbeständigkeit. Hier sind ihre Kernanwendungsszenarien und technische Analysen:

Typische Anwendungen in Szenarien mit hoher Wärmeabgabe

1, Gravurprozess（Wie Plasma）

Hochfrequenz-Felder erzeugen sofortige hohe Temperaturen, und der Wasserkühler muss schnell abwärmen, um die Kammertemperatur stabil zu halten und Korrosionsgeschwindigkeitsschwankungen zu vermeiden.

2Ioneninjektion

Hochenergetische Ionenstrahlen erzeugen konzentrierte Wärme, wenn sie Wafer bombardieren, und der Wasserkühler kühlt Zielscheiben und Strahlenteile ab, um Gitterschäden und Ungleichmäßigkeiten zu verhindern.

3Diffusion und Oxidation

Wenn die Ofentemperatur hoch ist, muss der Wasserkühler die Wärme schnell entfernen, um die Überhitzung des Ofens zu verhindern und die Gleichmäßigkeit der Temperatur aufrechtzuerhalten, um eine Verzerrung des Wafers durch thermische Spannung zu vermeiden.

4Chemische Polierung（CMP）

Die hohe Temperatur, die durch die Reibung des Polierens verursacht wird, führt leicht zur Flüchtigkeit der Polierflüssigkeit, und der Wasserkühler muss die Polierpatte und das Antriebssystem kühlen, um Oberflächenfehler zu reduzieren.

5Dünnfilm Ablagerung（CVD und PVD）

Hochtemperaturgase in der Reaktionskammer müssen schnell gekühlt werden, um Nebenreaktionen zu verhindern;Die Spritzzielkühlung verlängert die Lebensdauer und verbessert die Gleichmäßigkeit der Folie.

2. Technische Schwierigkeiten und Lösungen bei der hohen Temperaturregelung

1Hochpräzise Temperaturregelung

Umsetzung erforderlich±0.5℃Temperaturpräzision durch mehrstufige Kühlsysteme und DynamikPIDAlgorithmische Anpassung.

2Schnelle Kühlfähigkeit

Einige Szenarien erfordern eine Kühlung mit hoher Temperaturdifferenz in kurzer Zeit, mit Kompressoren und Plattenwärmetauschern zur Verbesserung der Kälteeffizienz.

3Niedrige Vibrationen und geringes Geräuschdesign

Die Schallisolierung des Kompressors und die Schockdämpfungsstruktur verhindern, dass Vibrationen Prozesse wie die Gravur stören.

Intelligenz und Energieeffizienz

Integrierte Drucksensoren und elektromagnetische Drei-Wege-Ventile für Druckreduzierung und innere Kreislaufschaltung;Intelligente Überwachungssysteme reduzieren den Energieverbrauch.

3. Wichtige Punkte der Auswahl des Kühlers

1Kühlmenge übereinstimmen

Wählen Sie eine etwas größere als erforderliche Kühlmenge je nach Wärmeabfuhr der Anlage aus（Redundantes Design）Vermeiden Sie Temperaturausfälle durch Überlastung oder Ineffizienz.

2Wählen Sie die Kühlmethode

Wassergekühlte Szenen mit hoher Leistung bevorzugt（Hohe Effizienz）Raumbegrenzte Luftkühlung（Flexibel, aber weniger effizient）.

3Material- und Prozessanpassung

Optionale Explosionsschutz;

Frequenzumrichterkompressoren erfüllen die Produktionsstandards der Halbleiterfabrik.

Die hohe Abwärmeszenarie der Halbleiterfabrik stellt hohe Anforderungen an die Präzision der Temperaturregelung und die Abwärmeeffizienz des Kühlwassers dar, und der Halbleiterkühler mit konstanter Temperatur unterstützt die Mehrkanal-Temperaturregelung, die den gesamten Prozess von der Wafer-Herstellung bis zur Verpackungsprüfung abdeckt.