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Wujiang in Suzhou zu Tongli Wirtschaftsentwicklungszone
Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd
Prüfmethoden, Prozesse, Standards und Vorsichtspunkte für die Reinraum-Klasse 10
Datum:2025-08-25Lesen Sie:5
1. Prüfmethode
Der zehn-Klasse-Reinraum (entsprechend der ISO-Klasse 4) ist eine kontrollierte Umgebung mit hohen Reinigungsanforderungen. Das System der Prüfmethoden ist streng und komplex und erfordert die Verwendung spezialisierter Prüfmittel und Präzisionsinstrumente, wie z. B. etiedt Yitai Netco-Marke LPC-8110 von Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd. mit einem Probenfluss von 28,3 L / MIN und der gleichzeitige Prüfung von 8 Partikelgrößenkanalen.
Detektion der Konzentration von suspendierten Partikeln:
Partikelzählermethode: Der Partikelzähler mit dem Lichtstreuungsprinzip als Kernprüfungsgerät muss eine Partikelgrößenerkennung (Partikel von 0,1 μm bis 5,0 μm unterscheiden können), einen breiten Anwendungsbereich der Konzentration und eine Zähleffizienz haben, die den Standardanforderungen entspricht. Vor der Prüfung muss sichergestellt werden, dass das Gerät über ein gültiges Zertifikat zur Kalibrierung verfügt, um die Genauigkeit der Messergebnisse sicherzustellen.
Probenauforderungen: Die Mindestprobenmenge für jeden Probenpunkt ist nicht weniger als 0,3 Liter, und die tatsächliche Probenmenge muss durch die Formel VS = (20/Cn·m) ×1000 bestimmt werden, wobei Cn·m die Konzentrationsgrenze für die entsprechende Partikelgröße des zehnten Reinraums ist (≥0,5 μm Partikel nicht mehr als 35/m³). Die Probenahme dauert in der Regel nicht weniger als eine Minute, um die Repräsentativität der Probenahme zu gewährleisten.
Entsprechend den Anforderungen der Normen ISO 14644-1 und GB / T 16292-2008 müssen zehn Reinräume nicht weniger als 20 Probenpunkte aufweisen, wobei der Messabstand zwischen 0,5 und 2,0 Metern gesteuert wird. Die Probenahmestellen sollten gleichmäßig über den gesamten Reinraum-Arbeitsbereich verteilt sein, wobei der Schwerpunkt auf kritische Prozessbereiche und Bereiche mit hoher Personalaktivität liegt. Die Probenhöhe wird in der Regel auf der Arbeitsebenenhöhe (0,8-1,2 m) eingestellt, um den sauberen Zustand der tatsächlichen Betriebsumgebung widerzuspiegeln.
Datenerfassung und -verarbeitung: Jeder Stichprobenpunkt wird dreimal in Folge geprüft, wobei der Mittelwert als Messwert für diesen Punkt verwendet wird. Die endgültige Reinigkeitsklasse von 10 Reinräumen wird anhand der maximalen Messpunkte (anstatt des Durchschnitts) bestimmt und spiegelt die strengen Anforderungen an die schwächsten Glieder wider
2. Prüfprozess
Der Prüfprozess im Reinraum der Klasse 10 folgt strengen logischen Reihenfolgen und Betriebsvorschriften, um die Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Prüfergebnisse zu gewährleisten. Die vollständige Prüfung ist in der Regel in drei Phasen unterteilt:
2.1 Vorbereitungsphase
Systemreinigung und Selbstreinigung: Vor der Prüfung muss der Reinraum und sein Reinigungsklimaanlage gründlich gereinigt werden (normaler Staubsauger deaktiviert) und das Reinigungspersonal sollte spezielle Reinigungskleidung tragen. Nach der Reinigung sollte das gereinigte Klimaanlage mindestens 12 Stunden lang kontinuierlich betrieben werden, um die Umgebung in einen stabilen Zustand zu bringen.
Bestätigung der Umgebungsbedingungen: Aufzeichnen und bestätigen Sie, dass die Grundparameter wie die Temperatur im Reinraum (normalerweise 20-24 ° C gesteuert), die relative Luftfeuchtigkeit (45% -65%) und die Beleuchtung (≥ 300 lux) den Prüfanforderungen entsprechen.
Effiziente Filter-Vorprüfung von Leckagen: Vorläufige Filterintegritätsprüfung vor der formellen Prüfung, um sicherzustellen, dass die Teilchenzahl nicht von Filterleckagen beeinflusst wird. In dieser Phase sollten Leckagen sofort behandelt werden.
2.2 Hauptparameterprüfung (in logischer Reihenfolge)
Luftvolumen/Windgeschwindigkeit und Anzahl der Luftwechsel:
Zunächst messen Sie die Gesamtzufuhrluftmenge, die Gesamtrückluftmenge, die Neuluftmenge und die Abluftmenge, um das Gleichgewicht des Systemvolumens zu bestätigen.
Für einen unidirektionalen Strom Reinraum, messen Sie die Arbeitsbereich Schnittwindgeschwindigkeit, berechnen Sie die Ungleichmäßigkeit (sollte nicht mehr als 0,25).
Berechnen Sie die Anzahl der Luftwechsel für Reinigungsräume, die nicht einseitig strömen (Reinigungsräume der zehnten Stufe erfordern normalerweise ≥ 60 Mal / Stunde).
Statische Druckunterscheidungsprüfung:
Nachdem die Luftvolumenprüfung bestanden ist, stellen Sie sicher, dass alle Türen geschlossen sind.
Mit einem Mikrodruckmessgerät (Genauigkeit ≤ 0,1 Pa) wird der Druckunterschied zwischen dem Reinraum und dem angrenzenden Bereich mit verschiedenen Reinigungsstufen gemessen.
10. Reinraum Anforderungen: gleiche Reinigungsstufe Bereich Druckdifferenz konsistent; Der Druckunterschied zwischen benachbarten Bereichen auf verschiedenen Reinigungsstufen beträgt ≥5Pa; der Druckunterschied zwischen reinen und nicht reinen Bereichen beträgt ≥10Pa.
Hocheffiziente Filter offiziell erkennen:
Die Prüfung von Luftvolumen, Windgeschwindigkeit und statischer Druckdifferenz erfolgt als Voraussetzung für die Reinigungsprüfung.
Durchführen Sie einen vollständigen Scan nach der oben genannten Methode, um Leckpunkte rechtzeitig zu identifizieren und zu reparieren und nach der Reparatur erneut zu erkennen, bis sie qualifiziert sind.
Luftreinigkeitsprüfung:
Nach der Erkennung der Leckage erfolgt, um Datenverzerrungen durch Filterleckage zu vermeiden.
Testen Sie die Konzentration von suspendierten Partikeln nach dem vorgegebenen Probenpunktlayout, wobei der Durchschnittswert drei Mal pro Punkt in Folge genommen wird.
Fügen Sie mikrobielle Probenpunkte in kritischen Betriebsbereichen (z. B. Füllpunkte, Betriebstische) hinzu, um Plakton- und Sedimentationsbakterien zu untersuchen.
Selbstzeitprüfung:
Nachdem ein Verschmutzungsereignis durch die künstliche Einführung von Aerosolen (z. B. Rauchen) oder Partikelzähler überwacht wurde, wurde die Zeit gemessen, die benötigt wird, um einen Reinraum von einem hohen Konzentrationszustand auf einen Reinigungsstandard der zehnten Stufe zurückzuholen.
Die Selbstreinigungszeit eines Reinigungsraums der Stufe 10 erfordert in der Regel ≤ 1 Minute.
Luftstrom- und Richtungsprüfung:
Verwenden Sie sichtbaren Rauch in Verbindung mit einer Hochgeschwindigkeitskamera, um Luftströmungsmuster zu beobachten und aufzuzeichnen und zu überprüfen, ob Rückfluss, Wirbelströme oder Totzonen vorhanden sind.
Bestätigen Sie, dass die Luftströmungsrichtung dem Grundsatz der Strömung von einem sauberen Bereich in einen Bereich mit niedrigem Niveau entspricht.
3. Prüfstandards
Das System der Prüfstandards für den zehnten Reinraum umfasst internationale Standards, nationale Standards und Branchenspezifikationen und bildet ein vollständiges System technischer Anforderungen.
3.1 Kernparameter
Konzentration von suspendierten Partikeln: nach ISO 14644-1 und GB/T 16292-2008
4. Achtung
Bei der Reinraum-Prüfung der Stufe 10 müssen mehrere wichtige Kontrollpunkte berücksichtigt werden, die sich direkt auf die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Prüfergebnisse beziehen.
4.1 Datenmanagement und Berichterstattungsanforderungen
Elektronische Datenintegrität: Bei der Aufzeichnung von Daten mit einem computerisierten System müssen die ALCOA+-Prinzipien (zugeschriebene, klare, synchronisierte, ursprüngliche, genaue) eingehalten werden und die Audit-Tracking-Funktion aktiviert sein, um Datenmanipulationen zu verhindern.
Spezifikationen für Papieroppzeichnungen: Die manuelle Aufzeichnung sollte dauerhafte Tinte verwenden, die Spezifikationen ausfüllen, die Unterschrift des Büros ändern und das Datum angeben. Die Rohdaten müssen zusammen mit dem Endbericht archiviert werden.
Integrität des Berichts: Der offizielle Prüfbericht sollte die Verteilung der Probenpunkte, die Prüfbedingungen (Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Druckdifferenz), die Kalibrierungsinformationen des Instruments, die Prüfergebnisse, die Standardgrenzwerte, die Schlussfolgerungen und die Unterschriften des Prüfers enthalten.
Archivierungsfrist: Die Aufzeichnungen und Berichte der Prüfung sollten mindestens ein Jahr länger als die Gültigkeitsdauer der hergestellten Produkte aufbewahrt werden, um die Anforderungen an die Rückverfolgung der Qualität zu erfüllen.
5. Zusammenfassung
Als eine der am stärksten geregelten Umgebungen mit hohen Reinigungsanforderungen ist die Prüfung eine technische und anspruchsvolle professionelle Tätigkeit. Durch wissenschaftlich spezifizierte Prüfmethoden (Partikelzähler-Methode, Windgeschwindigkeitsprüfung, Filterleckage-Detektion usw.), strenge Durchführungsprozesse (Systemvorbereitung → Parameter-Prüfung → Datenanalyse), strenge Normanforderungen (ISO-Klasse 4-statische Normen) und umfassende Vorsichtspunkte (Personalkontrolle, Instrumentenmanagement, Störungsvermeidung usw.), können Sie den Leistungszustand von Reinräumen genau bewerten und einen zuverlässigen Umweltschutz für High-End-Fertigungs- und Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten bieten.
Die Grundprinzipien der Umsetzung können zusammengefasst werden: die strikte Einhaltung nationaler Normen und Industrienormen; Priorisierung der schwächsten Stellen (z. B. Grenzen, Verbindungen) Implementierung einer hierarchischen Kontrollstrategie (statische und dynamische Kombination); Schaffung eines kontinuierlichen Überwachungsmechanismus (tägliche Überwachung + regelmäßige umfassende Prüfung). Zusammen bilden diese Prinzipien den technischen Grundstein für die Umweltsicherung von zehn Reinräumen und bieten eine entscheidende technische Unterstützung für die Qualitätskontrolle in hochmodernen Bereichen wie Halbleiterherstellung und High-End-Biomedizin.