Der Niederdruckentladungsdetektor ist ein Gerät zur Erkennung von Leckagen auf der Grundlage der Gasentladungseigenschaften, dessen Kernprinzip darin besteht, die Dichtheit des gemessenen Systems durch die Überwachung der Änderungen der Gasentladungsphänomene in einer niedrigdruckigen Umgebung zu beurteilen. Das spezifische Prinzip kann in folgende Schritte unterteilt werden:
1, Gasionisierung und Entladung: Hochspannungsfelder in geschlossenen Kammern aufgebracht werden, wenn der Luftdruck auf einen bestimmten Bereich reduziert wird, werden die restlichen Gasmoleküle ionisiert, um eine Glanzentladung oder eine Koronaentladung zu erzeugen, um einen messbaren Strom oder ein Lichtsignal zu bilden.
2. Leckagsstörungen: Wenn das gemessene System leckt, dringt das äußere Gas in den Hohlraum ein und ändert die Zusammensetzung oder den Druck des inneren Gases, was zu einer signifikanten Änderung der Entladungseigenschaften (wie Bruchspannung, Entladungsstromstärke oder spektrale Eigenschaften) führt.
3. Signalanalyse und Positionierung: Sensoren erfassen abnorme Änderungen der Entladungsparameter (wie Spannungsschwankungen, Stromstärkungen oder Änderungen der Lichtintensität einer bestimmten Wellenlänge) in Kombination mit einer Schaltung oder einer algorithmischen Verarbeitung, um die Lage und das Ausmaß der Leckage zu bestimmen.
Niederspannungsentladungsdetektor HauptAnwendungsbereiche:
1, Vakuumausrüstungsprüfung: für die Halbleiterherstellung, Vakuumbeschichtung und andere Industrien verwendet wird, um die Stabilität der hohen Vakuumumgebung zu gewährleisten.
Erkennung von Leckagen im Kühlsystem: Erkennung kleiner Leckagen in Klimaanlagen, Kühlschranken und anderen Kühlmittelzirkulationssystemen, um den Verlust von Kühlmitteln zu vermeiden, der zu einer Effizienzabnahme führt.
3, geschlossene Behälter Qualitätskontrolle: in der medizinischen und chemischen Industrie überprüfen Sie Gasbehälter, versiegelte Behälter, ob es Mängel gibt, um die Lagersicherheit zu gewährleisten.
4, wissenschaftliche experimentelle Überwachung: Anwendung in hochenergetischen Physik, Raumfahrtsimulationen und anderen präzisen experimentellen Geräten, um zu verhindern, dass Umweltgase die Experimentergebnisse stören.
Die Vorteile dieser Methode sind die hohe Empfindlichkeit (erkennbar bis zu 10-5 Pa·m³/s), die schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, aber die schlechte Selektivität für die Gasart und der Betrieb unter niedrigem Luftdruck, die Anwendungsszenarien sind eingeschränkt.
