MolekularpumpeEs handelt sich um eine Vakuumpumpe, die mit einem Rotor mit hoher Drehgeschwindigkeit den Impuls an das Gasmolekül überträgt, so dass es eine Richtungsgeschwindigkeit erzielt, wodurch sie komprimiert und nach der Abgasöffnung für die Vorderstufe abgepumpt wird. Diese Pumpe kann speziell in:
1.Traktionsmolekuläre Pumpen Gasmoleküle kollidieren mit den Rotoren, die sich mit hoher Geschwindigkeit bewegen, um den Moment zu erhalten und werden an den Ausgang der Pumpe geführt.
2.Die Turbomolekularpumpe wird durch eine Zusammenarbeit von hochgeschwindigkeits drehenden Schaufeln und stationären Schaufeln aufgepumpt. Diese Pumpe arbeitet in der Regel im Zustand des Molekülstroms.
3.Kompositmolekularpumpe Es handelt sich um eine Kompositmolekular Vakuumpumpe, die aus zwei molekularen Pumpen mit Turbine und Traktion in Reihe kombiniert ist.
Kompositmolekulare PumpenEs ist eine serielle Kombination von Turbomolekularpumpen und Traktionsmolekulärpumpen, die die Vorteile beider Pumpen in einem zusammensetzen. Die Pumpe in einem sehr breiten Druckbereich ((10-6 ~ 1Pa) hat eine größere Pumpgeschwindigkeit und ein höheres Druckverhältnis, was den Ausgangsdruck der Pumpe erheblich erhöht. Es gibt viele Formen von Kompositmolekularpumpen, je nach Struktur gibt es hauptsächlich zwei Arten: eine ist die serielle Kombination von Turbinenblatten und Scheibenzugpumpen; Eine andere ist die serielle Kombination von Turbinenblatten und Zylinderpumpen; Wie folgt:
1. TurbinengeschichteWird hauptsächlich verwendet, um die Pumpgeschwindigkeit der Pumpe zu erhöhen, verwendet in der Regel die Form der Schaufeln, die die Pumpgeschwindigkeit erhöhen, und die Reihe ist innerhalb des Niveaus l0. Die Zugstufe wird hauptsächlich verwendet, um das Druckverhältnis der Pumpe zu erhöhen und den Ausgangsdruck der Pumpe zu erhöhen.
2. TraktionsklasseEs ist auf der flachen Plattenebene nach einer bestimmten Regel, mehrere Linien zu öffnen, und dann mehrere Scheiben zusammenzuführen, die Archimedes-Spirale, Logarithmus-Spirale, Kreisbogen usw. bilden. Bei der Pumpung wird das Gasmolekül durch eine sich mit hoher Geschwindigkeit drehende Scheibe "gezogen", so dass es entlang der Trenne als gerichtete Strömung von innen nach außen und von außen nach innen zurückkehrt, um das Pumpzweck zu erreichen.