1. Übersicht
Die Rots-Blade-Vakuumpumpe ist ein effizientes, mehrstufiges kombiniertes Vakuumpumpsystem, das aus einer Roots-Pumpe und einer Rots-Blade-Vakuumpumpe besteht. Diese Anlage kombiniert die hohe Pumpgeschwindigkeit der Rotz-Pumpe und die Vorteile des hohen Druckverhältnisses der Rotationspumpe und wird weit verbreitet in Industriebereichen verwendet, die mittleres und hohes Vakuum (10-2 bis 10-4 Pa) erfordern, wie Halbleiterherstellung, Vakuumbeschichtung, Pharmachemie usw.
2. Arbeitsprinzip
1. Rotz-Pumpe (Hauptpumpe)
• Mit einem Paar synchron umkehrende Rotoren (Rotoren) wird das Gas durch berührungsfreie Einbindung vom Einlass in den Ablass geschoben.
• Keine interne Kompression, die hohe Pumpgeschwindigkeit (bis zu 1000 ~ 20000 m³ / h) durch hohe Drehzahl erreicht.
• Es muss mit einer Vorpumpe (Rotationspumpe) verwendet werden, da die Rotz-Pumpe selbst keine direkten Luftdruckgase abgibt.
2. Rotationspumpe (Vorderpumpe)
• Das Gas wird durch den Exzentrisrotor und den Rotor komprimiert und abgegeben, um ein Primärvakuum (Grenzvakuum ca. 10-2 Pa) zu liefern.
• Schaffung einer Umgebung mit niedrigem Rückdruck für die Rotz-Pumpe, um einen effizienten Betrieb der Anlage sicherzustellen.
3. Kooperative Arbeitsabläufe
• Das Gas wird zuerst von der Rotationspumpe in den mittleren Vakuumbereich (1 bis 10 Pa) gepumpt, anschließend wird die Rotzpumpe gestartet, um den Vakuumgehalt weiter auf ein höheres Niveau zu erhöhen.
3. Technische Merkmale
1. Effiziente Energieeinsparung
• Die Rotz-Pumpe hat eine deutlich höhere Pumpgeschwindigkeit im niedrigen Druckbereich als die einstufige Rotationspumpe und einen Energieverbrauch von 30 bis 50 Prozent im Vergleich zu herkömmlichen Anlagen.
2. Breites Arbeitsumfang
• Abdeckung von Vakuum bis Hochvakuum (105 ~ 10-4 Pa), um sich an die variierenden Prozessanforderungen anzupassen.
Niedrige Vibrationen und geringe Verschmutzung
• Die Rotz-Pumpe ist ölfrei konzipiert, um die Verschmutzung zu reduzieren, und die Rotationspumpe kann ölschmiert oder trocken (ölfreie Rotationspumpe) ausgewählt werden, um die Reinigungsanforderungen zu erfüllen.
4. Intelligente Kontrolle
• Moderne Anlagen sind mit einem SPS-Steuersystem ausgestattet, das die Pumpengeschwindigkeit, den Überlastschutz und die Start-Stopp-Reihenfolge automatisch einstellt.
4. Typische Anwendungsszenarien
1. Photovoltaik und Halbleiter
• Für die Aufrechterhaltung der Vakuumumgebung von Wafer-Beschichtungen und Gravure.
2. Chemie und Pharma
• Lösungsmittelrückgewinnung, Vakuumtrocknung, molekulare Destillation und andere Prozesse.
3. Forschung und Labor
• Synchronisierte Strahlungsgeräte, Vakuumkühltrockner usw.
4. Lebensmittelverpackungen
• Schnelle Entfernung der Luft in der Verpackung, um die Haltbarkeit zu verlängern.