Arbeitsprinzip der Trockenschraubenvakuumpumpe
Trockenvakuumpentechnologie – insbesondere chemische Trockenpumpen mit variablem Schraubenabstand – bietet offensichtliche, messbare Vorteile in einer Vielzahl von kritischen Anwendungen. Die richtig ausgebildete Trockenschraubenvakuumpumpe gewährleistet die Erfüllung der Bearbeitungsanforderungen durch sichere, zuverlässige und kostengünstige Lösungen.
Trockenschraubenvakuumpumpen benötigen weder Wasser noch Öl, um sie auf Vakuumgebene zu dichten oder zu schmieren. Diese Trockenvakuumsysteme vermeiden daher die Erzeugung von Abwasser, Verschmutzung und hohe Aufbereitungskosten.
Betrieb der Trockenschraubenvakuumpumpe
• Die Trockenschraubenvakuumpumpe besteht aus zwei parallelen, berührungslosen Spiralrotoren (1) und (2) (Abbildung 1), die mit hoher Geschwindigkeit synchron durch Präzisionsgetriebe (3) gedreht werden. Sie drehen sich in entgegengesetzter Richtung, um eine gewisse Menge an Gas an der Lufteinlassung (5) aufzunehmen und diese in die Lufteinlassung (6) zu transportieren und in den Abgaskanal (7) zu gelangen. Die besondere Form der Wand des Zylinderkörpers (9) und der miteinander zusammengreifenden Schraube bildet eine Druckkammer oder eine Kammer (4) zum Fördern von Gasen.
•Der kleine Abstand zwischen Schraube und Zylinderkörper sowie ein kleiner Abstand zwischen miteinander zusammengreifenden Schrauben gewährleisten eine geringere Umkehrleckheit in Richtung Lufteinlass im Vergleich zum Vorwärtsstrom des durch den Schraubenraum erzeugten Gases.
•Die Länge der Dichtgrenze (d.h. die Anzahl der Spiralen und der enge Abstand) verhindert den Gegenstrom des Pumpengas. Auf einer Pumpe mit einer Pressplatte, wenn das Auslassventil oder der AnschlusserstmalsBei Belichtung wird das Gas leicht rückwärts in die Schraube expandieren. Unter der Wirkung der Schraube verringert sich die aufgefangene Gasmenge allmählich auf Null, sodass sie schnell entlassen werden kann.
•Der umgekehrte Fluss des Gases wird hauptsächlich durch die Breite der "Dichtzone" am Ende der Schraubenkontur gesteuert. Diese weiten Bereiche liegen eng neben dem Stator, wodurch das umgekehrte Leckage des Gases aufMinimumDer Grenzdruck der Schraubenpumpe kann unter 0,01 torr (0,01 mBar) liegen.
•Im Modell mit variablem Schraubenabstand wird das Gas, wenn sich der Schraubenabstand ändert, komprimiert, um eine zusätzliche Kompression vor dem Pumpenausgang bereitzustellen. Dies ermöglicht eine gleichmäßigere Verteilung der Wärmelast über die gesamte Länge des Rotors. Bei einem Mono-Schraubenabstand-Modell wird in der letzten Hälfte des Kreises eine größere Kompression durch eine Platte oder ein Ventil erreicht, wodurch die Wärmeerzeugung in Richtung der Abluftöffnung geneigt wird. Bei Trockenpumpen muss die Temperatur hoch genug sein, um die Gesamtkondensation zu vermeiden, und gleichzeitig niedrig genug sein, um Selbstverbrennung und Polymerisation zu vermeiden. Die allmählich erhöhte Gastemperatur in der Pumpe mit variablem Schraubenabstand in Richtung Abluft verhindert weitgehend die Kondensation des gepumpten Dampfes. Variable Schraubenabstandspumpen nutzen auch die Energie effizienter als Einzelschraubenabstandspumpen.
•Durch die umliegende Hülle (8) abkühlen. Die Pumpe kann für eine direkte oder indirekte geschlossene Kühlung konfiguriert werden. Letzteres hat viele Vorteile, da dies bedeutet, dass das Kühlwasser der Anlage niemals direkt mit dem Material der Pumpe in Kontakt steht und dass die Hülle nicht durch eine schlechte Kühlwasserqualität verstummt oder korrodiert wird.
•Hafen der Stadt (10). Bei Bedarf kann die Luftstätte helfen, die Kaltpumpe schnell zu erwärmen oder die Nasspumpe zu trocknen, brennbaren Dampf aus seinem brennbaren Bereich auszuschließen und helfen, Feststoffe aus der Pumpe zu entfernen, insbesondere während des Spülens von Lösungsmitteln.