- Ein idealer.VakuumsystemOder Vakuumbehälter sollten keine Leckage vorhanden sein und keine Leckage erzeugen. Aber für jedes Vakuumsystem oder Vakuumbehälter ist ein unverletztes Phänomen unmöglich. Insbesondere bei extrem niedrigem Druck, mit der Verschärfung der Auswirkungen der Leckage Phänomen, Vakuum nicht die vorgegebenen Prozessanforderungen zu erreichen, ist ein ziemlich allgemeines Problem. Zu diesem Zweck ist die Erkennung der Leckagestelle des Vakuumsystems oder des Vakuumbehälters und die Bestimmung der Verstopfung der Leckage, um die Leckage zu beseitigen, eine wichtige Aufgabe für Vakuumtechniker.Die sogenannte Leckage oder die eigentliche Leckage bezieht sich auf ein Phänomen, bei dem das Gas durch eine Leckage oder eine Lücke im Vakuumsystem von der Seitenströmung auf die Niederdruckseite geht. Die häufig verwendeten Grundkonzepte in der Vakuumleckungstechnologie sind hauptsächlich die folgenden Punkte.
Ein Fehler ist ein physikalisches Phänomen im Verhältnis zu einem realen Fehler. Dies ist hauptsächlich aufgrund der Entgassung des Materials, der Entsaugung, der Kondensation oder des Flusses von Gasen im Totraum im System ein Phänomen, das einen erhöhten Druck im Vakuumsystem oder im Behälter verursacht.
Luftdichtigkeit - es ist eine Eigenschaft, die den Grad der Luftundurchdringlichkeit der Wände eines Vakuumsystems oder Behälters kennzeichnet.
Löcher - Löcher beziehen sich auf unsichere Formen, extrem kleine Löcher oder Zwischenlöcher des Vakuums. Größer als diese kleine Löcher oder Lücken gelangen in menschliche Vakuumsysteme oder Behälter.
4. Leckage - Leckage ist die Leckagegeschwindigkeit. Es bezieht sich auf die Menge an Gas, die innerhalb eines Vakuumsystems oder eines Behälters durch ein Loch oder einen Spalt strömt.
Zui kleine erkennbare Leckage Es bezieht sich auf die Zui kleine Leckage, die mit einer bestimmten Erkennungsmethode oder einem Gerät erkannt werden kann.
6. Erkennung der Leckageempfindlichkeit oder effektive Empfindlichkeit, d.h. die kleine Leckage-Rate, die das Leckageinrichtung im Betriebszustand erkennen kann.
Die Reaktionszeit, auch als Reaktionszeit bezeichnet, bezieht sich auf die Zeit, die benötigt wird, wenn die Erkennungsmethode mit der Implementierung beginnt (z. B. mit der Injektion von Leckagas) bis zum Anstieg des Anzeigeverfahrens oder des Anzeigewertes des Instruments auf 63% seines Zui-Wertes.
Die Entfernungszeit bezieht sich auf die Zeit, die von der Entdeckung der Leckagemethode (z. B. das Stoppen des Sprühens von Leckages) bis zum Rückgang der Anzeigemethode oder des Anzeigewertes des Instruments auf 37% des Stoppwertes eingespannt wird.
Es bezieht sich auf die durch Staub oder Flüssigkeit verursachte Verstopfung der Leckage, diese Verstopfungen beziehen sich oft auf ein vorübergehendes Phänomen, das aufgrund der falschen Funktion der Erkennung von Leckagen auftritt, das beim Erkennen von Leckagen kein Leckage scheint, aber nach dem Auspuff wird ein Leckage auftreten.