Das inficon Vakuummeter ist ein Instrument zur Messung des Gasdrucks in Hochvakuumbereichen (Luftdichte im Bereich von niedriger bis niedriger als atmosphärischer Druck). Sein Arbeitsprinzip basiert auf der Kollision zwischen Gasmolekülen und Oberflächen sowie auf den Bewegungseigenschaften von Gasmolekülen unter Vakuumbedingungen.
Es gibt eine Vielzahl von Arten, diese Instrumente arbeiten mit verschiedenen Prinzipien, wie zum Beispiel der Strom von Thermoelektronen und Katoden-Anionen, die hohe Durchflussabsorption, die Volumenmessung von Druck und Vibrationen. Verschiedene Vakuummeter haben verschiedene Eigenschaften und Vor- und Nachteile und können entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen das geeignete Instrument auswählen.
Grundprinzipien des Inficon Vakuummeters:
Es besteht aus zwei Elektroden, von denen eine als Anode (Katodenstrahlrohr oder Elektrongewehr) und die andere als Katode (Empfänger) verwendet wird. Wenn eine Hochspannungsstromversorgung hinzugefügt wird, sendet die Anode einen Elektronenstrahl aus, der durch den Vakuumbereich mit dem Gasmolekül kollidiert, wodurch es ionisiert und Elektronenpaare erzeugt wird. Diese Ionenpaare bewegen sich unter Antrieb eines elektrischen Feldes und erzeugen Strom auf der Kathodenoberfläche.
Mit unterschiedlichen Elektrodenstrukturen und Schaltungen können Vakuummeter unterschiedliche Messbereiche und Empfindlichkeiten erreichen. Thermokhatodenvakuummeter verwenden das Prinzip der Emission von Thermoelektronen, erzeugen Elektronen im Vakuumbereich und berechnen den Gasdruck durch die Kollision von Elektronen und Gasmolekülen; Das Kaltkathodenvakuummeter misst den Luftdruck durch Gasadsorption und -deabsorption der Katodenoberfläche, dessen Empfindlichkeit höher ist als das Heizkatodenvakuummeter und für einen breiteren Messbereich geeignet ist.
Insgesamt finden inficon Vakuummeter eine Vielzahl von Anwendungen, wie Solarzellen, Materialforschung in der Mikroelektronik, Halbleiterverarbeitungsanlagen und Luftfahrtfertigungsanlagen. Verschiedene Vakuummeter haben unterschiedliche Messbereiche, Volumen, Empfindlichkeiten und andere Merkmale. Daher ist bei der Auswahl und Verwendung von Vakuumzählern eine Bewertung auf der Grundlage der tatsächlichen Situation erforderlich, um das geeignete Instrument zu wählen.